(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二鈷新聞專題
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二鈷的應(yīng)用與合成
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二鈷可以由八羰基二鈷和3,3-二甲基-1-丁炔合成得到，它可以作為CVD/ALD的重要前體，通過沉積形成的鈷材料。
2025/2/20 9:48:14
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(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二鈷的制備
（3,3-二甲基-1-丁炔）六羰基二鈷（CCTBA）是幾種用于制造設(shè)備重要功能層的含鈷CVD/ALD前體之一。它是制備鈷金屬、氮化鈷、鈷硅化物等的重要前驅(qū)體，特別是對于鈷阻擋層/襯層、共覆蓋層和共晶種層的應(yīng)用，具有優(yōu)異的性能。在阻擋層和種子層的情況下，鈷膜顯示出后續(xù)種子形成和電鍍步驟的高導(dǎo)電性。
2020/4/16 16:40:55
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