四氟化硅新聞專題
四氟化硅的生產(chǎn)工藝與應(yīng)用
四氟化硅是目前微電子工業(yè)中用量較大的等離子蝕刻氣體之一，性狀為無色氣體，工業(yè)生產(chǎn)方法主要有硫酸法，六氟硅酸鹽熱解法和Si-HF直接合成法3種。
2024/11/25 9:02:01
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