背景技術(shù)

近年來，芯片制作一直是一個(gè)熱門研究領(lǐng)域，它和國家經(jīng)濟(jì)、安全息息相關(guān)，屬于戰(zhàn)略性行業(yè)；而光刻膠在芯片制造過程中又占據(jù)著重要地位，光刻膠組分包括：成膜樹脂、光敏劑、溶劑及添加劑。成膜樹脂一般由多種單體通過自由基共聚而成。經(jīng)研究發(fā)現(xiàn)，丙烯酸酯類共聚物具有透明度高、合成工藝簡單、分辨率和靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，通過側(cè)鏈上脂環(huán)類結(jié)構(gòu)的引入，可改善鏈段的體積效應(yīng)，進(jìn)而提高其抗蝕性，因此被廣泛應(yīng)用于光刻膠成膜樹脂的開發(fā)。目前，金剛烷基丙烯酸酯類單體對(duì)開發(fā)高性能光刻膠是不可或缺的，1-金剛烷基甲基丙烯酸酯就是研究的熱點(diǎn)之一。

目前合成丙烯酸酯結(jié)構(gòu)的化合物主要是通過酸醇脫水和酰氯酯化2種方法。由于酰氯的反應(yīng)活性高于羧酸，反應(yīng)容易進(jìn)行，因此，本文采用甲基丙烯酰氯和1-金剛烷醇作為反應(yīng)原料，合成1-金剛烷基甲基丙烯酸酯（ADMA），以期為金剛烷基丙烯酸酯類單體能夠被更廣泛地工業(yè)化生產(chǎn)提供技術(shù)參考。

合成方法

將磁子放入250mL的裝有冷凝管和滴液漏斗三口燒瓶中，整個(gè)體系密封，燒瓶置于集熱式恒溫加熱磁力攪拌器上，抽真空通氮3次使得體系處于氮?dú)夥諊隆０匆欢ǖ呐浔确Q取1-金剛烷醇和吩噻嗪，用 50mL無水二氯甲烷溶解后通過注射器注入燒瓶內(nèi)， 再用注射器注入一定量的三乙胺，之后再向滴液漏斗中用注射器注入15mL無水二氯甲烷和一定量的甲基丙烯酰氯。反應(yīng)體系采用油浴加熱，將溫度逐步升至30℃，滴加二氯甲烷和甲基丙烯酰氯的混合溶液1h，然后攪拌下繼續(xù)反應(yīng)，通過點(diǎn)板測試反應(yīng)體系中1-金剛烷醇反應(yīng)程度，當(dāng)其反應(yīng)完全后結(jié)束反應(yīng)。之后用碳酸氫鈉飽和水溶液和蒸餾水分別洗滌產(chǎn)物，除去三乙胺鹽，再通過旋蒸除去二氯甲烷， 最后得到粗產(chǎn)物。粗產(chǎn)物經(jīng)過柱層析得到淡黃色液體，即1-金剛烷基甲基丙烯酸酯（ADMA），洗脫劑為石油醚和乙酸乙酯的混合物（20∶1，體積比）。

參考文獻(xiàn)

[1]陳曦,孫芳. 1-金剛烷基甲基丙烯酸酯的合成研究[J]. 粘接,2022,49(5):1-4. DOI:10.3969/j.issn.1001-5922.2022.05.001.