四甲基氫氧化銨（TMAH或TMAOH）是一種分子式為 N(CH3)4+?OH? 的季銨堿，也是這類化合物中最簡單的一種。這種物質只在五水合物時是一種相對穩(wěn)定的固體形態(tài)。商業(yè)上，TMAH通常以水溶液、甲醇溶液或五水合物的形式銷售。其固體和溶液均為無色，不純時為黃色。純凈的TMAH幾乎沒有氣味，但樣品常有強烈的魚腥味，因其含有三甲胺的不純物。
堿性
四甲基氫氧化銨的市售品以水溶液、甲醇溶液和五水合物為主，溶液濃度常見于25%。四甲基氫氧化銨五水結晶化合物是一種超強堿。它可以結晶出多種水合物，這些鹽的特點是分離良好的Me4N+陽離子和氫氧根陰離子。氫氧化物基團通過氫鍵與結晶水相連。尚未分離出無水TMAH。
化學性質
四甲基氫氧化銨和其它堿一樣，可以發(fā)生酸堿中和反應。例如它和氫氟酸反應，生成四甲基氟化銨：
NMe4+OH? + HF → NMe4+F?+ H2O
它在溶液中可以和銨鹽發(fā)生復分解反應，該反應由氨逸出反應體系推動進行。例如它和硫氰酸銨反應，可以制得四甲基硫氰酸銨：
NMe4+OH? + NH4+SCN? → NMe4+SCN? + NH3 + H2O
它受熱可以分解，二甲醚是主要產物（而非甲醇）。
工業(yè)用途
四甲基氫氧化銨的工業(yè)用途之一是半導體制造中用于硅的各向異性蝕刻，在光刻工藝中作為堿性溶劑開發(fā)酸性光刻膠，對剝離光刻膠有很好的效果。TMAH具有一定的相轉移催化劑性能，在鐵流體的合成中作為表面活性劑，抑制納米粒子的聚集。
TMAH是目前最常用的試劑，用于熱化學裂解，熱化學裂解是一種同時涉及熱解和化學衍生分析物的分析技術。
2 NMe4+OH? → 2 NMe3 + MeOMe + H2O
毒性
四甲基氫氧化銨在水中解離出[(CH3)4N]+和OH?，其陽離子可被人體吸收，具有經皮急性毒性，接觸可致死。目前沒有解毒劑。