雙(三甲基硅基)胺（又稱六甲基二硅氮烷、六甲基二硅胺烷或HMDS），分子式[(CH3)3Si]2NH。該物質(zhì)是氨中兩個(gè)氫原子被三甲基硅基取代的衍生物。六甲基二硅氮烷是一種無(wú)色液體，也是一種廣泛應(yīng)用于有機(jī)合成和有機(jī)金屬化學(xué)反應(yīng)重要試劑和主要成分。

制備和反應(yīng)

六甲基二硅氮烷可由三甲基一氯硅烷與氨氣反應(yīng)制得:

2 (CH3)3SiCl + 3 NH3 → [(CH3)3Si]2NH + 2 NH4Cl

由于六甲基二硅氮烷會(huì)在潮濕空氣中緩慢水解, 該反應(yīng)通常應(yīng)用真空技術(shù)進(jìn)行.

六甲基二硅氮烷的堿金屬化合物可由六甲基二硅氮烷去質(zhì)子化制得. 例如六甲基二硅氮基鋰(LiHMDS)可由六甲基二硅氮烷與丁基鋰反應(yīng)制取:

[(CH3)3Si]2NH + BuLi → [(CH3)3Si]2NLi + C4H10

六甲基二硅氮基鈉(NaHMDS)、六甲基二硅氮基鉀(KHMDS)和六甲基二硅氮基鋰(LiHMDS)均為非親核堿，是沒(méi)有親核性的堿。

應(yīng)用

在微影技術(shù)中, 六甲基二硅氮烷常被用作增加光阻劑表面附著能力的增粘劑。六甲基二硅氮烷在氣態(tài)時(shí)用在加熱過(guò)的基板上會(huì)得到的效果。

在電子顯微鏡, 六甲基二硅氮烷可以作為樣品制備過(guò)程中的臨界點(diǎn)干燥的干燥劑。

在裂解—?dú)庖荷V—質(zhì)譜，六甲基二硅氮烷在裂解時(shí)會(huì)被加到分析物里以產(chǎn)生硅烷化分析產(chǎn)物（sylilated diagnostic products）并以極性官能團(tuán)加強(qiáng)化合物的偵測(cè)性。