7783-82-6
中文名稱
六氟化鎢
英文名稱
Tungsten hexafluoride
CAS
7783-82-6
EINECS 編號(hào)
232-029-1
分子式
F6W
MDL 編號(hào)
MFCD00040536
分子量
297.83
MOL 文件
7783-82-6.mol
更新日期
2024/11/01 11:08:13
7783-82-6 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
六氟化鎢氟化鎢
六氟化鎢
英文別名
TungstenfluorideTUNGSTEN HEXAFLUORIDE
TUNGSTEN(VI) FLUORIDE
(oc-6-11)-tungstenfluoride(wf6
Hexafluorotungsten
Tungsten fluoride (WF6)
Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)-
WF6
TUNGSTEN(VI) FLUORIDE CYL. WITH 450 G
TUNGSTEN(VI) FLUORIDE, 99.9+%
TUNGSTEN (VI) FLUORIDE (99.9+%-W)
Tungsten hexafluoride 99%
Tungstenhexafluoride99%
(oc-6-11)-tungsten fluoride
Wolfram(VI)hexafluoride
所屬類別
無機(jī)化工：金屬氟化物及鹽物理化學(xué)性質(zhì)
外觀性質(zhì)無色氣體或淺黃色液體或固體，固體為易潮解的白色結(jié)晶, 接觸潮濕空氣冒煙。
溶解性溶于多數(shù)有機(jī)溶劑。
熔點(diǎn)2.3 °C(lit.)
沸點(diǎn)17.5 °C(lit.)
密度d15liq 3.441
蒸氣壓10hPa at 20℃
溶解度reacts with H2O; very soluble in ctc,cyclohexane
形態(tài)無色氣體
顏色黃色
水溶解性decomposes
Merck13,9885
CAS 數(shù)據(jù)庫7783-82-6(CAS DataBase Reference)
NIST化學(xué)物質(zhì)信息Tungsten hexafluoride(7783-82-6)
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)- (7783-82-6)
安全數(shù)據(jù)
警示詞危險(xiǎn)
危險(xiǎn)性描述H280-H314-H330
危險(xiǎn)品標(biāo)志T,C
危險(xiǎn)類別碼R23/24/25-R34
危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號(hào)UN 2196 2.3
WGK Germany3
RTECS號(hào)YO7720000
Hazard NoteToxic/Corrosive
危險(xiǎn)等級(jí)2.3
海關(guān)編碼2826199090
毒害物質(zhì)數(shù)據(jù)7783-82-6(Hazardous Substances Data)
7783-82-6(安全特性,毒性,儲(chǔ)運(yùn))
儲(chǔ)運(yùn)特性
庫房通風(fēng)低溫干燥可燃性危險(xiǎn)特性
遇水分解有毒氟化氫氣體和鎢酸類別
壓縮氣體和液化氣體滅火劑
水職業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
TLV-TWA 5 毫克(鎢)/立方米; STEL 10 毫克(鎢)/立方米常見問題列表
理化性質(zhì)
化學(xué)式WF6。分子量297.84。無色氣體或淡黃色液體。有強(qiáng)刺激性。有毒，其毒性與氟相似。溫度很低時(shí)呈白色固體。能溶于有機(jī)溶劑并產(chǎn)生特殊的顏色。遇水分解。在空氣中被潮氣分解而強(qiáng)烈冒煙，生成黃鎢酸或三氧化鎢。化學(xué)性質(zhì)活潑。幾乎能和所有的金屬(除金和鉑)反應(yīng)。對鎳、蒙乃爾合金和不銹鋼也有腐蝕性，但Ni和不銹鋼可抗其腐蝕性。干燥狀態(tài)時(shí)，對玻璃的腐蝕性較弱，而在濕氣中則能迅速反應(yīng)。與氣態(tài)氨反應(yīng)強(qiáng)烈。能被氨水或堿所吸收。與堿金屬氟化物可成復(fù)鹽。溶于苯等多種有機(jī)溶劑。【密度】 3.44×103kg/m3(15℃，液體)
【熔點(diǎn)】 2.5℃(5.6×104帕)
【沸點(diǎn)】 17.5℃
【臨界溫度】 171℃
【臨界壓力】 445.8kPa
【制備方法】 由金屬鎢粉與元素氟直接反應(yīng)合成。
【主要用途】 （1）一種強(qiáng)氟化劑，用于氣相沉積法制鎢膜。（2）在微電子工業(yè)中用作化學(xué)氣相淀積硅化鎢或鎢，以制作低電阻、 高熔點(diǎn)的互連線。
圖1為六氟化鎢分子結(jié)構(gòu)式。
主要用途
六氟化鎢（WF6）是唯一能穩(wěn)定存在的鎢的氟化物，具有極強(qiáng)的腐蝕性，可根據(jù)外界環(huán)境的變化表現(xiàn)出靈活的物化性能，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域。六氟化鎢在電子工業(yè)中主要作為集成電路的配線材料使用，其在經(jīng)過化學(xué)氣相沉積工藝后可形成金屬鎢導(dǎo)體膜，鎢導(dǎo)體膜在集成電子學(xué)中通常被用作高傳導(dǎo)性的互連金屬、金屬層間的通孔和垂直接觸的接觸孔以及鋁和硅間的隔離層，因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成領(lǐng)域；另外，六氟化鎢還可以應(yīng)用于太陽能吸收器以及 X 射線發(fā)射電極的制造、導(dǎo)電漿糊等電子元器原材料。危險(xiǎn)特性
遇潮濕、空氣或水會(huì)分解，放出劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。對皮膚、眼睛、粘膜能引起極嚴(yán)重的灼傷。高濃度暴露會(huì)引起惡心、嘔吐、腹痛、抽搐、腎損傷。本信息由Chemicalbook曉楠編輯（2015-09-05）。貯運(yùn)須知
裝于特殊鋼瓶內(nèi)，貯于陰涼、通風(fēng)的庫房內(nèi)。避免日光直射。遠(yuǎn)離熱源和火源。防止受潮。與金屬、玻璃制品隔離貯運(yùn)。須貼“毒氣”標(biāo)志。航空、鐵路禁止運(yùn)輸。周圍其他可燃物著火時(shí)，可用干粉、二氧化碳滅火。可用水冷卻鋼瓶，迅速關(guān)閉閥門。急救措施
眼睛受刺激可致盲，須不斷用水沖洗，迅送醫(yī)院診治。 皮膚和粘膜受腐蝕后很難痊愈，須用水沖洗，再涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水，并就醫(yī)診治。