542-91-6
中文名稱
二乙基硅烷
英文名稱
DIETHYLSILANE
CAS
542-91-6
EINECS 編號
208-834-9
分子式
C4H12Si
MDL 編號
MFCD00039877
分子量
88.22
MOL 文件
542-91-6.mol
更新日期
2023/03/20 19:41:19
542-91-6 結構式
基本信息
中文別名
二乙基硅烷二乙基硅烷, 98+%
英文別名
DIETHYLSILANEDiethylsilanealso high purity
(C2H5)2SiH2
diethyl-silan
Silane, diethyl-
Diethylsilane,98+%
Diethylsilane,97%
Diethylsilane,highpuritymin99%
所屬類別
化學試劑：硅烷物理化學性質
熔點-132°C
沸點56 °C(lit.)
密度0.681 g/mL at 25 °C(lit.)
折射率n20/D 1.391(lit.)
閃點−20 °F
儲存條件under inert gas (nitrogen or Argon) at 2-8°C
溶解度與四氫呋喃、乙醚、1,4-二惡烷和苯混溶。
形態(tài)液體
比重0.683
敏感性空氣敏感
水解敏感性3: reacts with aqueous base
Merck14,3128
BRN1730902
CAS 數(shù)據(jù)庫542-91-6(CAS DataBase Reference)
EPA化學物質信息Silane, diethyl- (542-91-6)
常見問題列表
簡介
二乙基硅烷作為沉積金屬硅酸鹽膜的硅源。一種形成作為電子器件中高k電介質的金屬硅酸鹽的方法，包括步驟：提供二乙基硅烷至反應區(qū)；同時提供氧源至該反應區(qū)；同時提供金屬前驅體到該反應區(qū)；通過化學氣相沉積使該二乙基硅烷、氧源和金屬前驅體發(fā)生反應，以在包括該電子器件的襯底上形成金屬硅酸鹽。該金屬優(yōu)選為鉿、鋯或其混合物。該金屬硅酸鹽膜的介電常數(shù)可以基于膜中的金屬、硅、和氧的相對原子濃度進行調節(jié)。用途
二乙基硅烷是一種硅烷試劑，有文獻報道其可用于制備沉積金屬硅酸鹽膜的硅源。知名試劑公司產品信息
Alfa Aesar
二乙基硅烷,98+%Diethylsilane, 98+%(542-91-6)
Sigma Aldrich
542-91-6(sigmaaldrich)TCI Shanghai
二乙基硅烷Diethylsilane,>94.0%(GC)(542-91-6)