1. 可由三乙基氯硅烷用氫化鋰或四氫鋰鋁還原來制取。

2. 在5升三頸燒瓶上安裝高效攪拌器、滴液漏斗和大管冷凝器。后者連干冰和丙酮冷卻的冷阱。用此瓶制成乙基溴化鎂(12.6摩爾)的乙醚溶液。在冷卻和劇烈攪件下向其中滴加406. 5克（30摩爾)三氯氫硅溶于1200毫升無水乙醚溶液。加料約需6小時。反應(yīng)混合物在室溫攪拌8小時，然后加熱回流1小時。用20塔板柱蒸餾除去乙醚，殘余物在蒸汽浴上加熱10小時。加180毫升水并攪拌使之水解，然后加372毫升濃鹽酸，分出水層，用2份500毫升乙醚萃取。將乙醚萃取液與產(chǎn)物合并，用水洗滌，然后在150克無水碳酸鉀上干燥2小時，經(jīng)4塔板柱分餾，得27.03克(77.5%)三乙基硅烷。

三乙基硅烷外觀呈無色或淺棕色油狀液體；溶于大多數(shù)極性有機溶劑，經(jīng)常在CH₂Cl₂中使用；密度0.728 g/mL(25°C)，沸點107-108°C，閃點-39C。

1.在堿水作用下，分子內(nèi)的Si-H鍵斷裂，放出氫氣，生成三乙基硅醇。與烷基鋰反應(yīng)，Si-H鍵中的氫原子被烷基取代。與烷氧基鋰反應(yīng)，生成三乙基烷氧基硅烷。三氯化鋁存在下，與氯化氫反應(yīng)，生成三乙基氯硅烷。在鉑催化劑作用下，可與鏈烯烴發(fā)生加成反應(yīng)。
2.對酸、堿和濕氣敏感，與濕氣接觸會放出氫氣。建議在干燥條件下儲存和在通風(fēng)櫥中使用。