將原料甲醚液體用泵送至分子篩吸附塔，從分子篩吸附塔下部往上通過(guò)分子篩床層，停留時(shí)間為30分鐘。吸附過(guò)程在0.5MpaG、0℃下進(jìn)行。經(jīng)過(guò)分子篩吸附處理，精制甲醚中含水降至0.001%。原料三氟化硼氣體進(jìn)入低溫精餾塔，塔頂溫度控制在-105℃，壓力控制在O.1MpaG，經(jīng)精餾處理，精制三氟化硼從塔頂出來(lái)，不含氟化氫、四氟化硅等雜質(zhì)。

精制甲醚從上往下流過(guò)絡(luò)合反應(yīng)器列管，精制三氟化硼氣體從下往上進(jìn)入絡(luò)合反應(yīng)器列管，甲醚和三氟化硼在列管的填料上進(jìn)行絡(luò)合反應(yīng)。絡(luò)合反應(yīng)控制在0.6MpaG，溫度控制在-10℃。生成的絡(luò)合物用泵送往交換反應(yīng)精餾塔。交換反應(yīng)精餾塔真空度150mmHg，塔頂溫度為85℃，塔釜溫度為90℃。最終，在交換精餾塔達(dá)到交換反應(yīng)和精餾平衡后，從塔頂?shù)玫?9%以上豐度的三氟化硼-11氣體，從塔釜得到豐度95%以上的三氟化硼甲醚-10同位素產(chǎn)品。

三氟化硼-甲醚絡(luò)合物化學(xué)交換精餾法的具體工藝是：將三氟化硼-甲醚絡(luò)合物直接加入到精餾塔中，在減壓的條件下加熱蒸餾，最終，三氟化硼-10在塔釜中濃縮，而三氟化硼-11從塔頂分離出來(lái)。該工藝具有流程簡(jiǎn)單、操作簡(jiǎn)便的特點(diǎn)。但由于從市場(chǎng)采購(gòu)的三氟化硼-甲醚絡(luò)合物含水高，即使經(jīng)過(guò)脫水處理，三氟化硼-甲醚絡(luò)合物中含水仍高達(dá)0.01%—0.03%，由水而引發(fā)的副反應(yīng)導(dǎo)致大量的副產(chǎn)物堵塞管道、換熱器等，且嚴(yán)重腐蝕設(shè)備，使生產(chǎn)無(wú)法連續(xù)穩(wěn)定進(jìn)行。