供應(yīng)高純二氟代氙XeF2 CAS號(hào)13709-36-9 半導(dǎo)體刻蝕蝕刻 氟化試劑

        二氟化氙（XeF2），又稱(chēng)二氟代氙，分子量為169.30，是一種無(wú)色固體，在室溫下容易升華而形成透明晶體。二氟化氙在中性或堿性溶液中分解，在酸性溶液中較為穩(wěn)定，水溶液有刺激氣味。二氟化氙蒸汽是無(wú)色的，具有令人發(fā)嘔的惡臭。在電子工業(yè)中，XeF2常被用作硅的蝕刻氣體，由于XeF2和硅的化學(xué)反應(yīng)是自發(fā)反應(yīng)，XeF2對(duì)硅的腐蝕工藝具有非常高的選擇性，在XeF2對(duì)硅進(jìn)行腐蝕過(guò)程中，XeF2氣體通過(guò)自由擴(kuò)散到硅襯底表面，并與最外層硅原子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成氣態(tài)Xe和氣態(tài)SiF4，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅的腐蝕。

 
    山東重山光電材料股份有限公司是一家集研發(fā)、中試、產(chǎn)業(yè)化為一體的高新技術(shù)企業(yè)，建有完整的氟化石墨烯規(guī)?；痉渡a(chǎn)線(xiàn)及功能氟碳材料性能評(píng)價(jià)實(shí)驗(yàn)室，能夠大批量生產(chǎn)供應(yīng)高品質(zhì)氟碳材料（氟化石墨烯、氟化石墨等）。完善的上游高端原材料規(guī)?；a(chǎn)線(xiàn)，為公司在鋰氟化碳一次電池（BR電池）及其關(guān)鍵電池材料、熱電池及其關(guān)鍵材料、含氟生物醫(yī)藥材料、半導(dǎo)體支撐材料、穩(wěn)定同位素材料、功能晶體材料、特種有機(jī)氟材料等多種高新技術(shù)產(chǎn)品的生產(chǎn)提供了充足的原材料供應(yīng)。

     公司成立于2015年，坐落于山東省淄博市淄川區(qū)南韓工業(yè)園內(nèi)，項(xiàng)目投資 15億元，占地 200 畝。2018年公司順利通過(guò)了“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定。公司投資配置了5000平方米的研發(fā)、中試基地，可同時(shí)開(kāi)展功氟碳材料，高比能鋰電池正、負(fù)極材料，含氟醫(yī)藥生物材料，半導(dǎo)體材料等相關(guān)研制與生產(chǎn)，與多家大學(xué)、試驗(yàn)研究所建立研究合作關(guān)系 ，材料性能超越進(jìn)口產(chǎn)品。