正硅酸四乙酯

價(jià)格	￥500.00
包裝	2KG

最小起訂量	2KG
發(fā)貨地	上海
更新日期	2024-11-06

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產(chǎn)品詳情

中文名稱:正硅酸四乙酯	英文名稱:Ethyl Silicat
CAS:78-10-4	純度規(guī)格: 99.999999
產(chǎn)品類別: 化學(xué)品 ( Chemical )
產(chǎn)品編號(hào): WE34	產(chǎn)品等級(jí): 電子級(jí)
月產(chǎn)量: 5000

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正硅酸四乙酯/ TEOS

名稱

正硅酸四乙酯(TEOS)

化學(xué)式

C8H20O4Si

相對(duì)分子量

208.33

CAS號(hào)

28767

理化性質(zhì)

無(wú)色透明液體，熔點(diǎn)－77℃，沸點(diǎn)168.5℃，密度0.9346g/ml。在空氣中較穩(wěn)定；微溶于水，在純水中水解緩慢；在酸或堿的存在下能加速水解作用。

主要用途

主要用于晶圓制造過(guò)程中的化學(xué)氣相沉積（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的電子化學(xué)品。

典型應(yīng)用

CVD類型

材料

APCVD

TEOS,O3

LPCVD

TEOS

PECVD

TEOS,O2

產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)

項(xiàng)目Item

標(biāo)準(zhǔn)值Standard Value

項(xiàng)目Item

標(biāo)準(zhǔn)值Standard Value

純度

99.999999% (8N)

鈮（Nb）max

0.1ppb

鋁（Al）max

0.2ppb

鎳（Ni）max

關(guān)鍵字：正硅酸四乙酯 ( Ethyl Silicate )

公司簡(jiǎn)介

上海眾巍是中國(guó)先進(jìn)材料供應(yīng)商。我們?yōu)閲?guó)內(nèi)外客戶提供氣體，化學(xué)品及相關(guān)產(chǎn)品服務(wù)，產(chǎn)品涉及各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域，如鋼鐵，造船，半導(dǎo)體，光學(xué)纖維，醫(yī)藥，食品等。

成立日期	2015-01-05 （10年）	注冊(cè)資本	5000000
員工人數(shù)	10-50人	年?duì)I業(yè)額	￥ 5000萬(wàn)-1億
主營(yíng)行業(yè)	特殊化學(xué)試劑,基礎(chǔ)無(wú)機(jī)試劑,特種化學(xué)品	經(jīng)營(yíng)模式	貿(mào)易,工廠,試劑,定制,服務(wù)

上海眾巍化學(xué)有限公司

VIP 9年

公司成立：10年
注冊(cè)資本：5000000
企業(yè)類型：有限責(zé)任公司
主營(yíng)產(chǎn)品：六氟乙烷，三氯化硼，氟甲烷，甲烷，乙烷，三氟化氮，六氟化鎢，三氟化硼
公司地址：中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)金海路1255號(hào)4幢三層A311室

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