正硅酸乙酯

中文別名：四乙氧基硅烷，硅酸四乙酯，硅酸乙酯

外文名Tetraethyl orthosilicate

分子式C8H20O4Si

分子量208.327

CAS NO78-10-4

EINECS號201-083-8

外  觀 無色透明液體

溶解性 微溶于水，微溶于苯，混溶于乙醇

熔  點(diǎn)-77 ℃

沸  點(diǎn)168 ℃

密  度0.94 g/cm3

閃  點(diǎn)43 ℃（OC）

含  量：28%，40%

用途：正硅酸乙酯（TEOS）是一種常用的硅源，主要用于制備SiO2氣凝膠，并廣泛用于電子、涂料、玻璃和陶瓷等領(lǐng)域。以下是正硅酸乙酯的具體用途：

（1）電子領(lǐng)域：正硅酸乙酯可用于化學(xué)氣相沉積工藝，形成二氧化硅淀積膜，以阻擋污染物和雜質(zhì)進(jìn)入半導(dǎo)體元件，同時可以產(chǎn)生導(dǎo)電層或絕緣層、產(chǎn)生減反射膜提高吸光率、臨時阻擋刻蝕等。電子級TEOS也可用于制造精密鑄造膠黏劑。

（2）涂料領(lǐng)域：正硅酸乙酯是制備耐熱和耐化學(xué)腐蝕涂料的重要原料，也可用于制造有機(jī)硅溶劑。它還可以用作防熱涂料、耐化學(xué)作用的涂料、有機(jī)合成中間體等。

（3）玻璃和陶瓷領(lǐng)域：正硅酸乙酯可用于光學(xué)玻璃處理，提高其透光度。在陶瓷領(lǐng)域，它可以用于制造水晶的基本原料，以及作為結(jié)合劑。

（4）其他用途：正硅酸乙酯還可用作金屬表面防腐和防水處理的材料，通過硅酸乙酯蒸氣處理后的金屬表面具有防腐防水的特性。此外，它還可以用于制造熒光粉、化學(xué)試劑等