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鋁蝕刻劑 A,Aluminum Etchant TYPE-A
  • 鋁蝕刻劑 A,Aluminum Etchant TYPE-A

鋁蝕刻劑 A

價格 詢價
包裝 4L 1L
最小起訂量 1L
發(fā)貨地 山東
更新日期 2018-12-13

產(chǎn)品詳情

中文名稱:鋁蝕刻劑 A英文名稱:Aluminum Etchant TYPE-A
保存條件: 常溫避光通風保存產(chǎn)品類別: Transene 美國川思
2018-12-13 鋁蝕刻劑 A Aluminum Etchant TYPE-A 4L/RMB;1L/RMB 常溫避光通風保存 Transene 美國川思

Transene公司鋁蝕刻劑是提供用以蝕刻硅部件上和集成電路中金屬鋁的穩(wěn)定無毒的成方制劑。可以刻制鋁觸點和連接線。這些鋁蝕刻劑具有能克服鋁蝕刻過程中出現(xiàn)的許多問題的獨特性能。

鋁金屬化和使用光印刷術(shù)的蝕刻工藝是半導體和微型電子技術(shù)的基礎(chǔ)。Transene公司的鋁蝕刻劑與市售光刻膠(KTFR,AZ、Hunt、Waycoat等)具有良好匹配性,可以蝕刻出高分辨率圖案??梢缘玫綄挾葹?密耳的金屬線,線間距可小于5微米。Transene公司的鋁蝕刻劑分辨率高,因為它不剝脫光刻膠,這樣蝕刻線邊下蝕現(xiàn)象就最少。而且該蝕刻劑不浸蝕硅、二氧化硅、氮化硅或鎳鉻電阻膜。

供應(yīng)兩種鋁蝕刻劑用于微型電子器件。其中A型鋁蝕刻劑建議用于硅部件,D型建議用于砷化鎵和磷化鎵部件以避免蝕刻劑對金屬互化物的浸蝕作用。也建議用于蝕刻鎳鉻薄膜電阻上的金屬鋁。

 

Transene公司鋁蝕刻劑性能

 

 

A

D

外觀

液體

淡黃色

PH

1.0

1.0

沸點

> 100℃

> 150℃

冰點

< 0℃

< 0℃

25℃時比重

1.45

1.50

閃點

不可燃

不可燃

溶解度

溶于水

溶于水

蝕刻速率

 
 

25 °C

10 ?/秒

40 ?/秒

40 °C

80 ?/秒

125 ?/秒

50 °C

100 ?/秒

200 ?/秒

65 °C

240 ?/秒

----------

75 °C

550 ?/秒

----------

 

注:蝕刻速率因鋁純度不同而微有區(qū)別。

 

 

 

應(yīng)用

用真空沉積法在硅片上鍍一層厚25000 ?的鋁膜,涂以光刻膠,上面覆蓋上攝影片,在紫外光源下暴光。光刻膠顯示圖案,其中作為連接線的鋁被保護,而不受保護部分的鋁則被鋁蝕刻劑浸蝕除掉。隨后用水沖洗。

蝕刻時間根據(jù)蝕刻溫度和鋁膜厚度而定。在蝕刻厚鋁膜時,蝕刻速率要高,此時要在較高溫度下進行蝕刻。與此相反,對于薄鋁膜則需要蝕刻速率慢,蝕刻溫度低。在某一具體溫度下,蝕刻時間可根據(jù)下列公式計算:

    蝕刻時間(分鐘)=           膜厚(?)     

                         蝕刻時間(?/秒)* 60

關(guān)鍵字: Transene;美國川思;鋁蝕刻劑;進口

公司簡介

青島凱莫思生化科技有限公司是一家集化學試劑、儀器耗材、電子化學品等產(chǎn)品產(chǎn)銷于一體的綜合經(jīng)銷商。產(chǎn)品主要涵蓋無機、有機和金屬有機化合物,純金屬和元素,貴金屬化合物和催化劑;玻璃儀器、科學儀器、實驗室家具等儀器耗材;半導體微型電子產(chǎn)品、薄膜和厚膜混合體、微型電子線路、電子構(gòu)件等電子化學品在內(nèi)的上萬種產(chǎn)品。能夠為醫(yī)藥,生物科技,工業(yè),教育,政府機構(gòu)以及健康產(chǎn)業(yè)等不同行業(yè)客戶的實驗室以及工廠提供產(chǎn)品、服務(wù)和解決方案;可以滿足科研人員進行各類研究和開發(fā)工作。 公司目前在中國、美國都設(shè)有倉儲基地。中國倉儲基地位于中國天津經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),現(xiàn)擁有大型甲級化學品倉庫和乙級化學品倉庫,能夠滿足微量、大宗等產(chǎn)品的存儲、分裝、周轉(zhuǎn)以及定制合成。美國倉儲基地位于美國新罕布夏州的哈德遜。 公司目前化學試劑產(chǎn)品的庫存就超過了10000種,生產(chǎn)和銷售的儀器耗材類產(chǎn)品總數(shù)超過55000種。公司生產(chǎn)的電子化學產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外半導體微型電子產(chǎn)品、薄膜和厚膜混合體、微型電子線路、電子構(gòu)件和其他電子產(chǎn)品的研發(fā)和實驗中。除此之外,依托于國內(nèi)外先進的試驗機構(gòu)和實驗室資源,我們在定制合成方面擁有豐富的經(jīng)驗和資源,可以根據(jù)客戶需求
成立日期 2016-09-21 (9年) 注冊資本 100萬
員工人數(shù) 1-10人 年營業(yè)額 ¥ 100萬以內(nèi)
主營行業(yè) 經(jīng)營模式 貿(mào)易,試劑,定制,服務(wù)
  • 青島凱莫思生化科技有限公司
非會員
  • 公司成立:9年
  • 注冊資本:100萬
  • 企業(yè)類型:貿(mào)易
  • 主營產(chǎn)品:電子化學品 化學試劑
  • 公司地址:青島市南區(qū)寧夏路288號
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