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993-07-7

中文名稱 三甲基硅烷
英文名稱 TRIMETHYLSILANE
CAS 993-07-7
分子式 C3H10Si
分子量 74.2
MOL 文件 993-07-7.mol
更新日期 2024/12/12 09:17:17
993-07-7 結(jié)構(gòu)式 993-07-7 結(jié)構(gòu)式

基本信息

中文別名
三甲基硅烷
英文別名
Silane, trimethyl-
(CH3)3SiH
trimethyl-silan
TRIMETHYLSILANE
trimethylsilicon
SILICON TRIMETHYL
Trimethylsilane,97%
Trimethylsilane 99.9%
2-Methyl-2-silapropane
Trimethylsilane 99.99%
所屬類別
化學(xué)試劑:硅烷試劑

物理化學(xué)性質(zhì)

熔點-135,9°C
沸點6,7°C
密度0,638 g/cm3
折射率1.3800 (estimate)
閃點<-29°C
形態(tài)液體
比重0.638
水溶解性1.4g/L at 20℃
水解敏感性3: reacts with aqueous base
LogP2.2 at 20℃
CAS 數(shù)據(jù)庫993-07-7
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Silane, trimethyl- (993-07-7)

安全數(shù)據(jù)

危險性符號(GHS)GHS hazard pictogramsGHS hazard pictogramsGHS hazard pictograms
GHS02,GHS04,GHS07
警示詞危險
危險性描述H220-H315-H319-H335
防范說明P210-P280-P321
危險類別碼12-36/37/38
安全說明9-16-26-33
危險品運輸編號3161
TSCAYes
海關(guān)編碼2931900050

常見問題列表

簡介
三甲基硅烷或三甲基硅化氫,是一種有機硅化合物。它是一種極易燃的物質(zhì)。三甲基硅烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子相腐蝕劑。
化學(xué)性質(zhì)

三甲基硅烷是具有刺鼻氣味的無色液體,其蒸汽比空氣重,可能沿地面流動,造成遠(yuǎn)處著火。

用途
三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年來作為半導(dǎo)體領(lǐng)域中的層間絕緣膜、作為成膜原料,其用途逐漸擴(kuò)大。
"993-07-7" 相關(guān)產(chǎn)品信息
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