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22398-80-7

中文名稱 磷化銦
英文名稱 INDIUM PHOSPHIDE
CAS 22398-80-7
EINECS 編號 244-959-5
分子式 InP
MDL 編號 MFCD00016153
分子量 145.79
MOL 文件 22398-80-7.mol
更新日期 2023/03/20 19:41:25
22398-80-7 結(jié)構(gòu)式 22398-80-7 結(jié)構(gòu)式

基本信息

中文別名
磷化銦
磷化銦晶體INP
磷化銦, 99.9999% (METALS BASIS)
磷化銦, 多晶塊, 99.99% (METALS BASIS)
磷化銦, 99.999% (METALS BASIS)
英文別名
INDIUM(III) PHOSPHIDE
Indium monophosphide
Indium phosphide (InP)
indiummonophosphide
InP
Indium phosphide (99.999%-In) PURATREM
Indium phosphide wafer
Indiumphosphidemetalsbasispiecesanddownblack
Indiumphosphidepolycrystallinelump
Indiumphsophidewafer
INDIUM(III) PHOSPHIDE, PIECES, 3-20 MESH , 99.998%
Indium phosphide, polycrystalline lump, 99.99%
polycrystallinelump
INDIUM PHOSPHIDE WAFER - 51MM DIA. X 0.35MM
INDIUM PHOSPHIDE LUMP
Indium(III) phosphide, polycrystalline lump, 99.99% (metals basis)
Indium(III) phosphide, 99.999% (metals basis)
Indium(III) phosphide, 99.9999% (metals basis)
Phosphinetriylindium(III)
Phosphinidyneindium(III)
所屬類別
無機(jī)化工產(chǎn)品: 無機(jī)鹽: Cm磷化合物及磷酸鹽

物理化學(xué)性質(zhì)

外觀性狀具有瀝青光澤的深灰色晶體。熔點1070℃。熔點下離解壓為2.75 Mpa。極微溶于無機(jī)酸。介電常數(shù):10.8。電子遷移率:約4600 cm2/V?s。空穴遷移率:約150 cm2/V?s。具有半導(dǎo)體的特性。
熔點1070°C
密度4,787 g/cm3
溶解度slightly soluble in acid solutions
形態(tài)pieces
顏色黑色
水溶解性Insoluble in water.
晶體結(jié)構(gòu)Cubic, Sphalerite Structure - Space Group F(-4)3m
Merck14,4953
暴露限值ACGIH: TWA 0.1 mg/m3
NIOSH: TWA 0.1 mg/m3
CAS 數(shù)據(jù)庫22398-80-7(CAS DataBase Reference)
(IARC)致癌物分類2A (Vol. 86) 2006
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Indium phosphide (InP) (22398-80-7)

安全數(shù)據(jù)

危險性符號(GHS)GHS hazard pictograms
GHS08
警示詞危險
危險性描述H350-H361-H372
防范說明P201-P308+P313
危險品標(biāo)志T
安全說明S24/25
危險品運(yùn)輸編號3288
WGK Germany3
RTECS號NL1800000
TSCAYes
毒害物質(zhì)數(shù)據(jù)22398-80-7(Hazardous Substances Data)
毒性mouse,LD,intraperitoneal,> 5gm/kg (5000mg/kg),ENDOCRINE: CHANGES IN SPLEEN WEIGHTLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHANGES IN LUNG WEIGHTBLOOD: "CHANGES IN SERUM COMPOSITION (E.G., TP, BILIRUBIN, CHOLESTEROL)",Journal of Occupational Health. Vol. 38, Pg. 6, 1996.

應(yīng)用領(lǐng)域

用途一
用作半導(dǎo)體材料,用于光纖通訊技術(shù),需要1.1~1.6μm范圍內(nèi)的光源和接受器。在 InP襯底上生長In-GaAsP雙異質(zhì)結(jié)激光器既能滿足晶格匹配,又能滿足波長范圍的要求。

制備方法

方法一
用高壓單晶爐制備磷化銦單晶是最主要的方法,并用摻等電子雜質(zhì)的方法降低晶體的位錯密度。而氣相外延,多采用In-PCl3-H2系統(tǒng)的歧化法,在該工藝中用銦(99.9999%)和三氯化磷(99.999%)之間的反應(yīng)來生長磷化銦層。
氣相外延將石英反應(yīng)管放在雙溫區(qū)電爐中,已凈化的高純氫氣經(jīng)計量通入,氫氣也用來稀釋三氯化磷,此時彭泡器保持在0℃,通過反應(yīng)管內(nèi)的氫氣線速度為14 cm/min。外延生長分為誘個階段進(jìn)行。
在第一階段,將盛有銦的石英舟放在電爐中源區(qū),通入氫氣并加熱到700~850℃,再用氫氣將三氯化磷引入,在銦源上方被還原成磷蒸氣和氯化氫。鎘化氫與銦反應(yīng)生成一氯化銦蒸氣在管中遷移。磷溶解在銦中直至飽和為止。
在第二階段,銦源保持在原位置不加熱,單晶襯底放在電爐的第二加溫區(qū)后,在氫氣氛下加熱到600~750℃。首先用氫氣將三氯化磷引入到管內(nèi)對襯底進(jìn)行氣相腐蝕,清洗襯底表面。再將氫氣直接引入反應(yīng)管,并把源加熱到它的過飽和溫度(在操作中此溫度比襯底晶體的溫度高100℃)。然后通過氫氣鼓泡將三氯化磷引入,這時磷蒸氣與在源區(qū)生成的一氯化銦反應(yīng),在襯底上淀積生長出磷化銦層。當(dāng)外延生長完成后,向系統(tǒng)中通入純氫氣,將兩個溫區(qū)冷卻到室溫,取出產(chǎn)物,制得磷化銦成品。

上下游產(chǎn)品信息

22398-80-7(安全特性,毒性,儲運(yùn))

儲運(yùn)特性
庫房通風(fēng)低溫干燥
可燃性危險特性
高熱產(chǎn)生有毒磷氧化物煙霧
類別
有毒物品
滅火劑
干粉、泡沫、砂土、二氧化碳, 霧狀水
職業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
TWA 0.1 毫克 (銦)/立方米

圖譜信息

磷化銦價格(試劑級)
報價日期產(chǎn)品編號產(chǎn)品名稱CAS號包裝價格
2024/11/08A15509磷化銦(III), 多晶塊, 99.99% (metals basis)
Indium(III) phosphide, polycrystalline lump, 99.99% (metals basis)
22398-80-71g1252元
2024/11/08A15509磷化銦(III), 多晶塊, 99.99% (metals basis)
Indium(III) phosphide, polycrystalline lump, 99.99% (metals basis)
22398-80-75g4442元
2024/11/08036283磷化銦(III), 99.999% (metals basis)
Indium(III) phosphide, 99.999% (metals basis), Thermo Scientific Chemicals
22398-80-71g2122元
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