12039-87-1
中文名稱
硅化釩
英文名稱
VANADIUM SILICIDE
CAS
12039-87-1
分子式
Si2V
分子量
107.11
MOL 文件
12039-87-1.mol
更新日期
2025/01/06 17:25:57
12039-87-1 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
硅化釩二硅化釩
英文別名
VANADIUM SILICIDEVANADIUM DISILICIDE
Vanadiumsilicidemesh
VANADIUM SILICIDE -325 MESH
bis(λ2-silanylidene)vanadium
VANADIUM SILICIDE: 99.5%, -325 MESH
VANADIUM SILICIDE ISO 9001：2015 REACH
bis(λ2-silanylidene)vanadium
VANADIUM SILICIDE, 99.5% (METALS BASIS)
所屬類別
無機(jī)化工：硅化物及硅酸鹽物理化學(xué)性質(zhì)
熔點(diǎn)1677 °C
密度4.420
溶解度soluble in HF
形態(tài)金屬棱狀
顏色金屬棱狀
電阻率 (resistivity)9.5 (ρ/μΩ.cm)
水溶解性soluble HF [KIR83]
晶體結(jié)構(gòu)Hexagonal
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Vanadium silicide (VSi2) (12039-87-1)
安全數(shù)據(jù)
警示詞警告
危險(xiǎn)性描述H302-H315-H319-H335
危險(xiǎn)品標(biāo)志Xi
危險(xiǎn)類別碼36/37
安全說明26-36
WGK Germany3
TSCAYes
危險(xiǎn)等級(jí)6.1
常見問題列表
概述
硅化物是制備大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵材料，用它可以作電路的歐姆接觸、肖特基勢(shì)壘和電極引線，超大規(guī)模集成電路結(jié)深很淺，如64 兆位的超大規(guī)模集成電路的PN 結(jié)深度淺到200nm ，在如此淺結(jié)表面用常規(guī)的方法制備電極引線，經(jīng)常導(dǎo)致PN 結(jié)穿通，使電路失效，為此則需要制備薄層硅化物，其中硅化釩是一種最好的選擇。用途
硅化物是制備大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵材料，用它可以作電路的歐姆接觸、肖特基勢(shì)壘和電極引線，超大規(guī)模集成電路結(jié)深很淺.硅化釩的主要用途如下：1.制備硅化釩薄膜。2.制備一種吸聲陶瓷材料。