4-乙酰氧基苯乙烯

4-乙酰氧基苯乙烯
中文別名： 對(duì)乙酰氧基苯乙烯
英文名稱： p-Acetoxy Styrene
CAS號(hào)： 2628-16-2
EINECS號(hào)： 434-600-2
分子式： C10H10O2
分子量： 162.1852
密度： 1.059g/cm3
熔點(diǎn)： 8℃
沸點(diǎn)： 260°C at 760 mmHg
閃點(diǎn)： 94°C
蒸汽壓： 0.0125mmHg at 25°C
4-乙酰氧基苯乙烯可用于合成作為光致抗蝕劑(光刻膠)主要成分的聚對(duì)羥基苯乙烯。聚對(duì)羥基苯乙烯系列的化學(xué)增幅型光致抗蝕劑是目前國(guó)際上主流的光致抗蝕劑產(chǎn)品，是用于處理光蝕刻集成電路、制造芯片的關(guān)鍵技術(shù)之一。光蝕刻技術(shù)由生產(chǎn)0.3～0.28μｍ線寬，發(fā)展到改用深紫外光（波長(zhǎng)248nm）生產(chǎn)0.18μｍ線寬，更可通過(guò)超深紫外光（波長(zhǎng)193nm）刻畫線寬達(dá)0.11μｍ的微細(xì)回路。248nm光刻膠通常采用聚對(duì)羥基苯乙烯衍生物為成膜樹脂，芳基碘鎓鹽或硫鎓鹽作為光致產(chǎn)酸劑，運(yùn)用化學(xué)增幅技術(shù)，在光作用下光致酸發(fā)生劑釋放出酸，然后酸催化使聚合物交聯(lián)(負(fù)膠)或發(fā)生脫保反應(yīng)(正膠)，從而使感光靈敏度極大地提高。