產(chǎn)品詳情 一、分子式：PO(OCH3)3                                二、分子量：140.08 三、理化性質(zhì)         無(wú)色液體，有水果味，熔點(diǎn)-46℃，沸點(diǎn)197℃，密度1.20g/ml。易溶于水和乙醚，難溶于乙醇。遇明火、高熱可燃，遇熱分解產(chǎn)生氧化磷有毒煙霧，遇強(qiáng)堿、強(qiáng)氧化劑起劇烈反應(yīng)。 四、用途         主要用于晶圓制造過(guò)程中沉積生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學(xué)品。 五、質(zhì)量指標(biāo) 分析項(xiàng)目 技術(shù)指標(biāo)(ppb) 分析項(xiàng)目 技術(shù)指標(biāo)(ppb) 純度 99.99999%（7N） Al   max 3 Li    max 1 Ag   max 1 Mg   max 1 As   max 10 Mo   max 1 Au   max 1 Mn   max 1 Ba   max 1 Na   max 2 Be   max 1 Ni   max 1 Bi   max 1 Pb   max 1 Ca   max 3 Sb   max 1 Cd   max 1 Sn   max 1 Co   max 1 Sr   max 1 Cu   max 1 Ti   max 1 Cr   max 1 V    max 1 Fe   max 3 Zn   max 2 Ga   max 2 Zr   max 1 Hg   max 1 主含量 (%) min 99.98% K    max 1 色度(APHA)max 10   六、包裝         容器：不銹鋼瓶                      外包裝：不銹鋼箱柜                        規(guī)格：5加侖（19L）