簡介三甲基硅烷或三甲基硅化氫,是一種有機(jī)硅化合物。它是一種極易燃的物質(zhì)。三甲基硅烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子相腐蝕劑。化學(xué)性質(zhì)三甲基硅烷是具有刺鼻氣味的無色液體,其蒸汽比空氣重,可能沿地面流動,造成遠(yuǎn)處著火。用途三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年來作為半導(dǎo)體領(lǐng)域中的層間絕緣膜、作為成膜原料,其用途逐漸擴(kuò)大。
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