以氯乙烷為原料,以銅為催化劑,在350~370℃與硅粉反應(yīng),可制得一乙基三氯硅烷、二乙基二氯硅烷、三乙基氯硅烷、乙基二氯硅烷、二乙基氯硅烷的混合物,利用其沸點差使之分離制得。主要用于合成硅油、硅樹脂等聚硅氧烷,用于消袍劑、皮革表面處理劑及防護劑;織物表面處理劑;化妝用品;表面活性劑等。
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