Ossila 旋涂機經(jīng)過精心設(shè)計,可提高薄膜質(zhì)量,無需真空泵和氮氣管路,可以生產(chǎn)出零基材翹曲的均勻涂層。它簡單明了的操作和設(shè)計使旋涂快速、簡單、便宜,而不會影響功能。
Ossila 旋涂機具有直觀的控制軟件,無需任何先決條件設(shè)備,是一款真正的即插即用設(shè)備。我們的旋涂機結(jié)構(gòu)緊湊,在實驗室工作臺上占用的空間非常小,可以輕松地在手套箱內(nèi)使用。
為什么使用無真空設(shè)計?
市場上的許多旋涂機在旋涂時使用真空泵來夾持基材。Ossila 旋涂機采用創(chuàng)新的卡盤設(shè)計,不需要真空?;耐ㄟ^切入聚丙烯卡盤的凹槽固定到位,從而將多余的涂層材料排出。
無真空旋涂機使用創(chuàng)新的卡盤在旋絲循環(huán)中將基板固定到位
薄基材可能會被真空吸盤向內(nèi)翹曲,從而影響涂層的均勻性。真空作用力對沉積在多孔基材(如陶瓷)頂部的溶液的影響也會導(dǎo)致不均勻性。這會降低設(shè)備的質(zhì)量和性能。無真空卡盤通過保持基材平坦且不受損壞來確保均勻的薄膜分布,即使它們是柔性基材。
標準旋涂機上的真空密封環(huán)導(dǎo)致的基板翹曲(左) 無真空卡盤可實現(xiàn)均勻的薄膜分布(右)
沒有真空管路,Ossila 旋涂機可以在任何地方設(shè)置一個電源插座。由于其易于設(shè)置和緊湊的尺寸,可以在實驗室工作臺、通風櫥或手套箱中旋轉(zhuǎn)涂層,所有這些都在同一天完成。
大多數(shù)旋涂機還承擔著真空泵的隱性成本,而真空泵的隱性成本通常不包括在整個系統(tǒng)價格中。真空泵容易損壞,導(dǎo)致昂貴的維修和延誤。這主要是由于過量的溶劑被吸入真空管路,損壞了內(nèi)部組件。使用免真空 Ossila 旋涂機可以降低短期和長期成本,它為您提供開始旋涂所需的一切。
產(chǎn)品特點:
旋轉(zhuǎn)速度范圍大:旋轉(zhuǎn)速度范圍為 120 至 10,000 rpm,涵蓋一系列不同的旋涂條件——從慢速干結(jié)晶到超薄膜。
易于安裝:無需連接真空或氮氣管路,只需插入電源即可使用。
智能操作:內(nèi)置的控制系統(tǒng)允許您擁有最多 10 個獨立的用戶配置文件 - 每個配置文件能夠保存 10 個配方,最多 50 個步驟。
旋涂質(zhì)量好:內(nèi)置水平儀和可調(diào)節(jié)支腳確保了平坦的旋轉(zhuǎn)軸,無真空卡盤可防止薄基材翹曲。這兩個因素都使薄膜的均勻性更好,設(shè)備性能也更好。
安全性好:旋涂機由 24 V DC 電源供電,因此不需要高電壓或具有額外要求的專業(yè)電源。防止溶劑和篡改,有一個磁性安全開關(guān),當蓋子打開時停止電機。
優(yōu)化的卡盤設(shè)計:Ossila 旋涂機卡盤的設(shè)計已經(jīng)過深入研究和優(yōu)化。使用流體動力學(xué)模擬來跟蹤卡盤區(qū)域的氣流,我們設(shè)計了卡盤,以改善基材上的氣流,減少溶劑積聚,同時確保在極高轉(zhuǎn)速下的機械穩(wěn)定性。
技術(shù)參數(shù):
| 標準旋涂機
| 高速旋涂機 |
用戶配置文件 | 10 | 10 |
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程序 | 每個用戶配置文件上有 10 個程序,每個程序最多 50 個步驟 | 每個用戶配置文件上有 10 個程序,每個程序最多 50 個步驟 |
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速度穩(wěn)定性 | <2% 誤差 | <0.25% 誤差 |
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速度 | 120 至 6000 RPM | 500 至 10,000 RPM |
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旋轉(zhuǎn)時間 | 1 – 1000 秒 | 1 – 3600 秒 |
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電源 | DC 24 V 2 A,通過 100–240 V 50/60 Hz 電源適配器 | DC 24 V 2 A,通過 100–240 V 50/60 Hz 電源適配器 |
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安全開關(guān) | 門上的磁性安全開關(guān) | 門上的磁性安全開關(guān) |
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尺寸(深 x 寬 x 高) | 225 毫米 x 170 毫米 x 140 毫米(8.86 英寸 x 6.69 英寸 x 5.51 英寸) | 225 毫米 x 170 毫米 x 140 毫米(8.86 英寸 x 6.69 英寸 x 5.51 英寸) |
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重量 | 2.9 千克 | 3.7 千克 |
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材料 | 聚丙烯碗,鋼制外殼,鋼化玻璃蓋 | 聚四氟乙烯碗,粉末涂層鋼制外殼,鋼化玻璃蓋 |
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關(guān)鍵字: 勻膠機 ;旋涂儀;旋轉(zhuǎn)涂布機;勻膠臺;涂膠機;
那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室,提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。
那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際領(lǐng)先的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。
自2001年Nano-Master開始設(shè)計開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點實驗室。
我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)