NPC-4000(A)全自動(dòng)等離子去膠機(jī)(刻蝕機(jī))概述：NANO-MASTER 等離子刻蝕和清洗系統(tǒng)是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用來(lái)滿(mǎn)足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說(shuō)可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。
NPC-4000(A)全自動(dòng)等離子去膠機(jī)(刻蝕機(jī))產(chǎn)品特點(diǎn)
· 緊湊型立式系統(tǒng)
· 自動(dòng)上下載片
· 帶Load Lock
· 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
· 兼容100級(jí)超凈間使用
· 淋浴頭、ICP或微波等離子源
· 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
· RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺(tái)
· 全自動(dòng)或手動(dòng)RF調(diào)諧
· z多可支持8個(gè)MFC帶電拋光的氣體管路
· PC計(jì)算機(jī)控制的氣動(dòng)閥
· 帶密碼保護(hù)的多級(jí)訪(fǎng)問(wèn)控制
· 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
· 機(jī)械泵的壓力可達(dá)到10mTorr
· 250 l/s的渦輪分子泵
· 極限真空為5x10-7Torr
· 完整的安全聯(lián)鎖
應(yīng)用：
· 有機(jī)物以及無(wú)機(jī)物的殘留物去除
· 光刻膠剝離或灰化
· 去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應(yīng)用
· 清洗微電子元件，電路板上的鉆孔或銅線(xiàn)框架
· 提高黏附性，消除鍵合問(wèn)題
· 塑料的表面改型：O2處理以改進(jìn)涂覆性能
· 產(chǎn)生親水或疏水表面
關(guān)鍵字： 等離子刻蝕機(jī);全自動(dòng)等離子刻蝕機(jī);進(jìn)口等離子刻蝕機(jī);進(jìn)口等離子去膠機(jī);進(jìn)口去膠機(jī)價(jià)格;全自動(dòng)等離子刻蝕機(jī);
那諾-馬斯特中國(guó)有限公司成立于2015年4月，是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國(guó)大陸，香港，臺(tái)灣和澳門(mén))的客戶(hù)，同時(shí)我們?cè)谥袊?guó)大陸設(shè)有專(zhuān)門(mén)的服務(wù)辦公室，提供銷(xiāo)售和售后技術(shù)服務(wù)。
那諾-馬斯特中國(guó)的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國(guó)，該公司是法國(guó)那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司，是一家國(guó)際領(lǐng)先的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開(kāi)始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國(guó)并正式更名。
自2001年Nano-Master開(kāi)始設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類(lèi)金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)