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KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺階儀 Alpha-Step D-600
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KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺階儀 Alpha-Step D-600

價格 詢價
包裝 1臺
最小起訂量 1臺
發(fā)貨地 上海
更新日期 2025-01-23

產品詳情

中文名稱:KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺階儀 Alpha-Step D-600產品類別: 半導體量測設備
2025-01-23 KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺階儀 Alpha-Step D-600 1臺/RMB 半導體量測設備


KLA-D600的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。

KLA D-600.jpg

產品描述:

Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D和3D測量,以及2D翹曲度和應力。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。

探針接觸式測量技術的優(yōu)點是可以進行接觸式直接測量,與材料特性無關。多種力度調節(jié)和探針選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。該探針測量選項能夠對您的工藝進行量化,以確定添加或去除的材料量,并通過測量粗糙度和應力來確定結構的任何變化。

功能特點:

  • 臺階高度:納米級到 1200 微米

  • 微力:0.03 至 15 mg

  • 視頻:5MP高分辨率彩色相機

  • 梯形失真校正:可消除側視視圖造成的失真

  • 弧形校正:可消除探針的弧形運動引起的誤差

  • 小巧的尺寸:系統占用體積小

  • 軟件:用戶友好的軟件界面


應用功能:

  • 臺階高度:2D和3D臺階高度

  • 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  • 形狀:2D和3D翹曲度和形狀

  • 應力:2D薄膜應力


應用領域:

  • 高校、實驗室和研究所

  • 半導體和化合物半導體

  • LED:發(fā)光二極管

  • 太陽能板

  • MEMS:微機電系統

  • 汽車

  • 醫(yī)療設備


關鍵字: 臺階儀;探針式輪廓儀;輪廓儀;KLA-D600;Alpha-Step D-600;高精度探針式輪廓儀;

公司簡介

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。 那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備、干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際領先的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。 自2001年Nano-Master開始設計開發(fā)薄膜應用方面的設備,正式面世的系統依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發(fā)展成為全球薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發(fā)中心和國家重點實驗室。 我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務
成立日期 2015-04-17 (10年) 注冊資本 100萬人民幣
員工人數 1-10人 年營業(yè)額 ¥ 1000萬-5000萬
主營行業(yè) 其他儀器耗材 經營模式 定制
  • 那諾-馬斯特中國有限公司
非會員
  • 公司成立:10年
  • 注冊資本:100萬人民幣
  • 企業(yè)類型:私人股份有限公司
  • 主營產品:薄膜沉積設備、薄膜生長設備、干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等
  • 公司地址:徐匯區(qū)虹梅南路126弄翡翠別墅23號
詢盤

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內容聲明:
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