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KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺(tái)階儀 Alpha-Step D-600
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KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺(tái)階儀 Alpha-Step D-600

價(jià)格 詢價(jià)
包裝 1臺(tái)
最小起訂量 1臺(tái)
發(fā)貨地 上海
更新日期 2024-11-15

產(chǎn)品詳情

中文名稱:KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺(tái)階儀 Alpha-Step D-600產(chǎn)品類別: 半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備
2024-11-15 KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺(tái)階儀 Alpha-Step D-600 1臺(tái)/RMB 半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備


KLA-D600的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600,可測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。

KLA D-600.jpg

產(chǎn)品描述:

Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D和3D測(cè)量,以及2D翹曲度和應(yīng)力。創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高垂直分辨率、長(zhǎng)程垂直測(cè)量范圍和微力控制測(cè)量能力。

探針接觸式測(cè)量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是可以進(jìn)行接觸式直接測(cè)量,與材料特性無(wú)關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針選擇可以讓機(jī)臺(tái)對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。該探針測(cè)量選項(xiàng)能夠?qū)δ墓に囘M(jìn)行量化,以確定添加或去除的材料量,并通過(guò)測(cè)量粗糙度和應(yīng)力來(lái)確定結(jié)構(gòu)的任何變化。

功能特點(diǎn):

  • 臺(tái)階高度:納米級(jí)到 1200 微米

  • 微力:0.03 至 15 mg

  • 視頻:5MP高分辨率彩色相機(jī)

  • 梯形失真校正:可消除側(cè)視視圖造成的失真

  • 弧形校正:可消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

  • 小巧的尺寸:系統(tǒng)占用體積小

  • 軟件:用戶友好的軟件界面


應(yīng)用功能:

  • 臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度

  • 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  • 形狀:2D和3D翹曲度和形狀

  • 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力


應(yīng)用領(lǐng)域:

  • 高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所

  • 半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

  • LED:發(fā)光二極管

  • 太陽(yáng)能板

  • MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)

  • 汽車

  • 醫(yī)療設(shè)備


關(guān)鍵字: 臺(tái)階儀;探針式輪廓儀;輪廓儀;KLA-D600;Alpha-Step D-600;高精度探針式輪廓儀;

公司簡(jiǎn)介

那諾-馬斯特中國(guó)有限公司成立于2015年4月,是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國(guó)大陸,香港,臺(tái)灣和澳門)的客戶,同時(shí)我們?cè)谥袊?guó)大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室,提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。 那諾-馬斯特中國(guó)的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國(guó),該公司是法國(guó)那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國(guó)際領(lǐng)先的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國(guó)并正式更名。 自2001年Nano-Master開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)
成立日期 2015-04-17 (10年) 注冊(cè)資本 100萬(wàn)人民幣
員工人數(shù) 1-10人 年?duì)I業(yè)額 ¥ 1000萬(wàn)-5000萬(wàn)
主營(yíng)行業(yè) 其他儀器耗材 經(jīng)營(yíng)模式 定制
  • 那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
非會(huì)員
  • 公司成立:10年
  • 注冊(cè)資本:100萬(wàn)人民幣
  • 企業(yè)類型:私人股份有限公司
  • 主營(yíng)產(chǎn)品:薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等
  • 公司地址:徐匯區(qū)虹梅南路126弄翡翠別墅23號(hào)
詢盤

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