KLA-D600的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600,可測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。
產(chǎn)品描述:
Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D和3D測(cè)量,以及2D翹曲度和應(yīng)力。創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高垂直分辨率、長(zhǎng)程垂直測(cè)量范圍和微力控制測(cè)量能力。
探針接觸式測(cè)量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是可以進(jìn)行接觸式直接測(cè)量,與材料特性無(wú)關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針選擇可以讓機(jī)臺(tái)對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。該探針測(cè)量選項(xiàng)能夠?qū)δ墓に囘M(jìn)行量化,以確定添加或去除的材料量,并通過(guò)測(cè)量粗糙度和應(yīng)力來(lái)確定結(jié)構(gòu)的任何變化。
功能特點(diǎn):
臺(tái)階高度:納米級(jí)到 1200 微米
微力:0.03 至 15 mg
視頻:5MP高分辨率彩色相機(jī)
梯形失真校正:可消除側(cè)視視圖造成的失真
弧形校正:可消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
小巧的尺寸:系統(tǒng)占用體積小
軟件:用戶友好的軟件界面
應(yīng)用功能:
臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度
紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
形狀:2D和3D翹曲度和形狀
應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力
應(yīng)用領(lǐng)域:
高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
LED:發(fā)光二極管
太陽(yáng)能板
MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設(shè)備
那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
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