中文名稱:KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺階儀 Alpha-Step D-600 | 產品類別: 半導體量測設備 |
KLA-D600的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。
產品描述:
Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D和3D測量,以及2D翹曲度和應力。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。
探針接觸式測量技術的優(yōu)點是可以進行接觸式直接測量,與材料特性無關。多種力度調節(jié)和探針選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。該探針測量選項能夠對您的工藝進行量化,以確定添加或去除的材料量,并通過測量粗糙度和應力來確定結構的任何變化。
功能特點:
臺階高度:納米級到 1200 微米
微力:0.03 至 15 mg
視頻:5MP高分辨率彩色相機
梯形失真校正:可消除側視視圖造成的失真
弧形校正:可消除探針的弧形運動引起的誤差
小巧的尺寸:系統占用體積小
軟件:用戶友好的軟件界面
應用功能:
臺階高度:2D和3D臺階高度
紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
形狀:2D和3D翹曲度和形狀
應力:2D薄膜應力
應用領域:
高校、實驗室和研究所
半導體和化合物半導體
LED:發(fā)光二極管
太陽能板
MEMS:微機電系統
汽車
醫(yī)療設備
成立日期 | 2015-04-17 (10年) | 注冊資本 | 100萬人民幣 |
員工人數 | 1-10人 | 年營業(yè)額 | ¥ 1000萬-5000萬 |
主營行業(yè) | 其他儀器耗材 | 經營模式 | 定制 |
產品名稱 | 價格 | 公司名稱 | 報價日期 | |
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詢價 |
淮北黑體軟件有限公司
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2025-01-22 | ||
詢價 |
碧云天生物技術有限公司
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2025-01-30 | ||
¥1450 |
上海博取儀器有限公司
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2025-01-30 |