六氟乙烷,又稱全氟乙烷,是一種有機(jī)化合物,是乙烷中六個(gè)氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物,化學(xué)式為C2F6,常溫常壓下為無(wú)色氣體,主要用作絕緣氣、等離子蝕刻劑,、高介電強(qiáng)度冷卻劑等。
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