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NMC-4000(A)全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng)
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NMC-4000(A)全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng)

價(jià)格 詢價(jià)
包裝 1臺(tái)
最小起訂量 1臺(tái)
發(fā)貨地 上海
更新日期 2025-01-03

產(chǎn)品詳情

中文名稱:NMC-4000(A)全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng)產(chǎn)品類別: 生長(zhǎng)系統(tǒng) MOCVD設(shè)備
2025-01-03 NMC-4000(A)全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng) 1臺(tái)/RMB 生長(zhǎng)系統(tǒng) MOCVD設(shè)備

NMC-4000(A)全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng)概述:NANO-MASTER針對(duì)InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無(wú)油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動(dòng)控制,完全的安全互鎖。

目前,這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。


NMC-4000(A)全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng)應(yīng)用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)


特點(diǎn):

  • 獨(dú)立系統(tǒng)

  • 14”不銹鋼立方體腔體

  • 1次在8”樣品臺(tái)上處理1個(gè)6”晶圓片或在12”樣品臺(tái)上處理54”片子

  • 加熱的氣體管路

  • RF等離子源,自動(dòng)調(diào)諧

  • 淋浴頭氣體分布

  • 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)

  • N2沖洗

  • 全自動(dòng)上下載片

  • 可以兼容到集群配置中



關(guān)鍵字: 進(jìn)口全自動(dòng)PAMOCVD;全自動(dòng)等離子MOCVD;進(jìn)口PAMOCVD;等離子輔助MOCVD;等離子MOCVD;等離子體增強(qiáng)MOCVD;

公司簡(jiǎn)介

那諾-馬斯特中國(guó)有限公司成立于2015年4月,是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國(guó)大陸,香港,臺(tái)灣和澳門)的客戶,同時(shí)我們?cè)谥袊?guó)大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室,提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。 那諾-馬斯特中國(guó)的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國(guó),該公司是法國(guó)那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國(guó)際領(lǐng)先的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開(kāi)始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國(guó)并正式更名。 自2001年Nano-Master開(kāi)始設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)
成立日期 2015-04-17 (10年) 注冊(cè)資本 100萬(wàn)人民幣
員工人數(shù) 1-10人 年?duì)I業(yè)額 ¥ 1000萬(wàn)-5000萬(wàn)
主營(yíng)行業(yè) 其他儀器耗材 經(jīng)營(yíng)模式 定制
  • 那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
非會(huì)員
  • 公司成立:10年
  • 注冊(cè)資本:100萬(wàn)人民幣
  • 企業(yè)類型:私人股份有限公司
  • 主營(yíng)產(chǎn)品:薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等
  • 公司地址:徐匯區(qū)虹梅南路126弄翡翠別墅23號(hào)
詢盤

NMC-4000(A)全自動(dòng)PAMOCVD系統(tǒng)相關(guān)廠家報(bào)價(jià)

產(chǎn)品名稱 價(jià)格   公司名稱 報(bào)價(jià)日期
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