二氯硅烷-Dichlorosilane二氯二氫硅-DCS
純度99.99%
規(guī)格40L/37Kg
CAS:4109-96-0
材質不銹鋼鋼瓶包裝
類型4N電子級
450元/kg,40L/37Kg
二氯硅烷的用途:
1.用于制造半導體,尤其是在外延法工藝中作為硅源。二氯二氫硅主要用于多晶硅外延生長以及化學氣相沉積二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氫硅和四氯化硅高,二氯二氫硅沉積硅更有效,且淀積溫度比其他氯硅烷低。采用二氯二氫硅在降低溫度下沉積厚層所需時間大大低于采用硅烷所需時間。由于二氯二氫硅的沉積速率與采用其他氯硅烷相比對溫度敏感性小,因此可以采用調節(jié)氫氣流中二氯二氫硅濃度的方法來控制沉積速率,而且不會出現(xiàn)鼓泡所帶來的不準確性和機械問題。
2.用于甲硅烷基化劑,及合成硅的有機化合物。
南京鐳普化工有限公司
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