二氯硅烷-Dichlorosilane二氯二氫硅-DCS
純度99.99%
規(guī)格40L/37Kg
CAS:4109-96-0
材質(zhì)不銹鋼鋼瓶包裝
類型4N電子級
450元/kg,40L/37Kg
二氯硅烷的用途:
1.用于制造半導(dǎo)體,尤其是在外延法工藝中作為硅源。二氯二氫硅主要用于多晶硅外延生長以及化學(xué)氣相沉積二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氫硅和四氯化硅高,二氯二氫硅沉積硅更有效,且淀積溫度比其他氯硅烷低。采用二氯二氫硅在降低溫度下沉積厚層所需時(shí)間大大低于采用硅烷所需時(shí)間。由于二氯二氫硅的沉積速率與采用其他氯硅烷相比對溫度敏感性小,因此可以采用調(diào)節(jié)氫氣流中二氯二氫硅濃度的方法來控制沉積速率,而且不會出現(xiàn)鼓泡所帶來的不準(zhǔn)確性和機(jī)械問題。
2.用于甲硅烷基化劑,及合成硅的有機(jī)化合物。
南京鐳普化工有限公司
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