三氟化氮（nitrogen trifluoride）化學(xué)式NF?，在常溫下是一種無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，是一種強(qiáng)氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子，這些氟離子對(duì)硅和鎢化合物，高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對(duì)氧化硅和硅），它在蝕刻時(shí)，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。
物理特性
熔點(diǎn)(101.325kPa)：-206.79℃
沸點(diǎn)(101.325kPa)：-129.0℃
液體密度(-129℃，101.325kPa)：1540kg/m3
氣體密度(20℃，101.325kPa)：2.96kg/m3相對(duì)密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：2.46
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.3371m3/kg
氣液容積比(15℃，100kPa)：520L/L
臨界溫度：-39.3℃
臨界壓力：4530kPa
臨界密度：522kg/m3
臨界壓縮系數(shù)：0.317
熔化熱(-206.79℃，101.325kPa)：5.61kJ/kg
氣化熱(-129℃，101.325kPa)：163.29kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=751.68J/(kg·K)
蒸氣壓(-171℃)：1.333kPa
(-100℃)：470kPa
(-60℃)：2200kPa粘度(氣體，25℃，101.325kPa)：0.0183mPa·S
折射率(氣體，25℃)：1.0004416
主要成分：純品
外觀與性狀：無(wú)色、帶霉味的氣體。
相對(duì)密度(水=1)：1.89(沸點(diǎn),液體)
溶解性：不溶于水。
主要用途：用作高能燃料。
廢棄處置方法：根據(jù)國(guó)家和地方有關(guān)法規(guī)的要求處置。或與廠商或制造商聯(lián)系，確定處置方法
三氟化氮
三氟化氮，分子式：NF<sub>3</sub>。氣體分子量：71.01，熔點(diǎn)：–206.8℃（1atm），沸點(diǎn)：–129℃（1atm），臨界溫度：–39.3℃，臨界壓力：44.02atm（4.46MPa），液體密度：1554 kg/m<sup>3</sup>（1atm，沸點(diǎn)時(shí)），氣體密度：2.95 kg/m（1atm,21℃），水中溶解度（1atm，22℃）：1.43×10-5當(dāng)量濃度。純凈的NF3氣體是一種無(wú)色無(wú)味的氣體，當(dāng)混入一定量的雜質(zhì)氣體后顏色發(fā)黃，同時(shí)會(huì)有發(fā)霉或刺激性氣味。NF3氣體不可燃，但能助燃。當(dāng)溫度超過(guò)350℃時(shí)，三氟化氮?dú)怏w會(huì)緩慢分解，分解時(shí)產(chǎn)生強(qiáng)氧化性氟。因此，在高溫下它是一種強(qiáng)氧化劑。CAS號(hào)：7783-54-2。危險(xiǎn)性類別：第2.3類有毒氣體，在空氣中的最高允許含量為29mg/m
化學(xué)性質(zhì)
穩(wěn)定性
化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，一般條件下在水與堿溶液中均不反應(yīng)（三校合編無(wú)機(jī)化學(xué)第四版下冊(cè)534頁(yè)），只有當(dāng)放電時(shí)在水中才發(fā)生NF3+2H2O==放電==HNO2+3HF。F的電負(fù)性大于H，因此NF3中的孤對(duì)電子云由于向F偏移而導(dǎo)致電子云密度比在NH3中低，配位能力下降，因此質(zhì)子化時(shí)放熱小于NH3。偶極矩與上面類似，大概就是由于電負(fù)性的增強(qiáng)導(dǎo)致偶極矩的降低。
急性毒性
LD50
LC50：19000mg/m3，1小時(shí)(大鼠吸入)；5600mg/m3，4小時(shí)(小鼠吸入)
用途
三氟化氮主要用途是用作氟化氫－氟化氣高能化學(xué)激光器的氟源，在h2-O2 與F2之間反應(yīng)能的有效部分（約25%）可以以激光輻射釋放出，所 HF-OF激光器是化學(xué)激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對(duì)表面無(wú)污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時(shí)也是非常良好的清洗劑。隨著納米技術(shù)的發(fā)展和電子工業(yè)大規(guī)模的發(fā)展技術(shù)，它的需求量將日益增加。
危險(xiǎn)概述
三氟化氮是低毒性物質(zhì)，但是它能強(qiáng)烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜，腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長(zhǎng)期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼，使牙齒生黃斑，骨骼成畸形。具有強(qiáng)氧化性。與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機(jī)物(如糖、纖維素等)接觸會(huì)發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。受高熱發(fā)生劇烈分解，甚至發(fā)生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時(shí)末見(jiàn)死亡，但出現(xiàn)高鐵血紅蛋白血癥，當(dāng)吸入10000ppm·l小時(shí)有死亡，在2500ppm時(shí)吸毒后4小時(shí)死亡。最高容許濃度：10ppm(29mg/m3)。
急救措施
三氟化氮皮膚接觸
脫去污染的衣著，用流動(dòng)清水沖洗。若有灼傷，就醫(yī)治療。
三氟化氮眼睛接觸
立即翻開(kāi)上下眼瞼，用流動(dòng)清水沖洗15分鐘。就醫(yī)。
三氟化氮吸入
迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢，呼吸困難時(shí)給輸氧。呼吸停止時(shí)，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。
三氟化氮泄漏處理應(yīng)急處理
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。
消防措施
強(qiáng)氧化劑。受熱或與火焰、電火化、有機(jī)物等接觸能燃燒，甚至爆炸。與易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纖維素等）接觸會(huì)發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，引起燃燒爆炸。
有害燃燒產(chǎn)物： 氟化氫。
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并隔離直至氣體散盡，應(yīng)急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿化學(xué)防護(hù)服。切斷火源。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)(或擴(kuò)散)，但不要對(duì)泄漏物或泄漏點(diǎn)直接噴水。抽排(室內(nèi))或強(qiáng)力通風(fēng)(室外)。漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過(guò)技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。法規(guī)信息：化學(xué)危險(xiǎn)品安全管理?xiàng)l例（1987年2月17日國(guó)務(wù)院發(fā)布），化學(xué)危險(xiǎn)品安全管理?xiàng)l例實(shí)施細(xì)則（化勞發(fā)[1992]677號(hào)），工作場(chǎng)所安全使用化學(xué)危險(xiǎn)品規(guī)定[1996]勞部發(fā)423號(hào)）法規(guī)，針對(duì)化學(xué)危險(xiǎn)品的安全使用、生產(chǎn)、儲(chǔ)存、運(yùn)輸、裝卸等方面均作了相應(yīng)規(guī)定；常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志（GB13690－92）將該物質(zhì)劃為第2.3類有毒氣體。滅火方法： 消防員必須穿全身防火防毒服，在上風(fēng)向滅火。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。滅火劑：霧狀水、泡沫。
注意事項(xiàng)
三氟化氮操作注意事項(xiàng)
嚴(yán)加密閉，提供充分的局部排風(fēng)和全面通風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過(guò)濾式防毒面具（半面罩），戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡，穿防毒物滲透工作服，戴橡膠手套。遠(yuǎn)離火種、熱源，工作場(chǎng)所嚴(yán)禁吸煙。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與還原劑接觸。搬運(yùn)時(shí)戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈，防止鋼瓶碰撞、損壞。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
儲(chǔ)存注意事項(xiàng)： 儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)品分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
職業(yè)接觸限值
中國(guó)MAC(mg/m3)： 未制定標(biāo)準(zhǔn)
前蘇聯(lián)MAC(mg/m3)： 未制定標(biāo)準(zhǔn)
TLVTN： ACGIH 10ppm,29mg【F】/m3
TLVWN： 未制定標(biāo)準(zhǔn)
工程控制： 嚴(yán)加密閉，提供充分的局部排風(fēng)和全面通風(fēng)。
呼吸系統(tǒng)防護(hù)： 空氣中濃度較高時(shí)，應(yīng)該佩戴自吸過(guò)濾式防毒面具（半面罩）。
眼睛防護(hù)： 戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡。
身體防護(hù)： 穿防毒物滲透工作服。
手防護(hù)： 戴橡膠手套。
其他防護(hù)： 工作現(xiàn)場(chǎng)嚴(yán)禁吸煙。保持良好的衛(wèi)生習(xí)慣。
工作時(shí)必須要保護(hù)皮膚。氣瓶要遠(yuǎn)離火種、熱源、應(yīng)與有機(jī)物、可燃物、油脂、還原劑及氫分開(kāi)存放。
NF3為腐蝕性氣體，在<200℃時(shí)可用不銹鋼、銅、蒙乃爾。在更高的溫度可用鎳和蒙乃爾?？梢杂镁鬯姆蚁?、三氟氯乙烯樹(shù)脂和聚三氟氯乙烯聚合體。滅火可用霧狀水和泡沫。泄漏的氣體可用排風(fēng)機(jī)排送至通風(fēng)櫥內(nèi)。廢氣或廢液要用還原劑(酸式亞硫酸鈉、亞鐵鹽等)溶液處理后，用堿灰或稀鹽酸中和，再用大量水稀釋后排入下水道。
運(yùn)輸信息
危險(xiǎn)貨物編號(hào)： 23016 UN編號(hào)： 2451
包裝類別： Z01
運(yùn)輸注意事項(xiàng)： 鐵路運(yùn)輸時(shí)須報(bào)鐵路局進(jìn)行試運(yùn)，試運(yùn)期為兩年。試運(yùn)結(jié)束后，寫出試運(yùn)報(bào)告，報(bào)鐵道部正式公布運(yùn)輸條件。采用剛瓶運(yùn)輸時(shí)必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應(yīng)將瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超過(guò)車輛的防護(hù)欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動(dòng)。嚴(yán)禁與易燃物或可燃物、還原劑、食用化學(xué)品等混裝混運(yùn)。夏季應(yīng)早晚運(yùn)輸，防止日光曝曬。公路運(yùn)輸時(shí)要按規(guī)定路線行駛，禁止在居民區(qū)和人口稠密區(qū)停留。鐵路運(yùn)輸時(shí)要禁止溜放。
關(guān)鍵字： 三氟化氮；NF?;
安徽旺山旺水特種氣體有限公司 - DWS SPECIALTY GAS CO., LTD（以下簡(jiǎn)稱DWS）一直致力于液氦、稀有氣體、重水、同位素產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用，提供核磁共振相關(guān)服務(wù)，同時(shí)提供相關(guān)氣體設(shè)備及工程管道安裝等服務(wù)。
公司由氣體行業(yè)的資深技術(shù)人員創(chuàng)建，引進(jìn)美國(guó)先進(jìn)的氣體生產(chǎn)技術(shù)、分析設(shè)備以及質(zhì)量管理理念。目前，公司生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量均達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平，與國(guó)際、國(guó)內(nèi)著名氣體企業(yè)多有深度合作。可以從美國(guó)、俄羅斯、北歐、韓國(guó)、臺(tái)灣、中東等國(guó)家地區(qū)直接進(jìn)口高品質(zhì)產(chǎn)品。
主營(yíng)服務(wù)
?液氦，氦氣，重水，同位素產(chǎn)品，稀有氣體、特種氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)混合氣體。
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