常用制備派瑞林的方法是化學(xué)氣相沉積法(CVD),反應(yīng)物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生空間氣相化學(xué)反應(yīng),在固態(tài)基體表面直接生成固態(tài)物質(zhì),進(jìn)而在基材表面形成涂層的一種工藝技術(shù)。派瑞林薄膜制備過程為環(huán)狀二聚體在高溫下兩個(gè)相連甲基碳碳鍵斷裂,生成具有活性的對(duì)二亞甲基苯單體,當(dāng)其從高溫環(huán)增進(jìn)入宰溫環(huán)境的沉積宰時(shí),不穩(wěn)定的單體就會(huì)聚合成膜,整個(gè)制備工藝過程分為三步。