雙（叔丁基氨基）硅烷
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- CAS號(hào):
- 186598-40-3
- 英文名:
- DI(T-BUTYLAMINO)SILANE
- 英文別名:
- BTBAS (99.999% - Si);DI(T-BUTYLAMINO)SILANE;BTBAS: [NH(C4H9)]2SiH2;BIS(T-BUTYLAMINO)SILANE;Bis(tert-butylamino)silane;DI-(TERT-BUTYLAMINO)SILANE;Bis(t-butylamino)silane BTBAS;N,N'-Di-tert-butylsilanediamine;N,N'-Di-tert-butylsilanediamine;Bis(t-butylaMino)silane, 97+% BTBAS
- 中文名:
- 雙（叔丁基氨基）硅烷
- 中文別名:
- 雙(叔丁胺)硅烷;雙(叔丁氨基)硅烷;雙(叔丁基氨基)硅烷;N,N'-二叔丁基二苯胺;N,N'-二叔丁基二苯胺;雙(叔丁基氨基)硅烷,97+%BTBAS;N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺
- CBNumber:
- CB9750283
- 分子式:
- C8H22N2Si
- 分子量:
- 174.36
- MOL File:
- 186598-40-3.mol
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雙（叔丁基氨基）硅烷化學(xué)性質(zhì)
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沸點(diǎn):
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167°C
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密度:
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0,816 g/cm3
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折射率:
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1.4236
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閃點(diǎn):
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30°C
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酸度系數(shù)(pKa):
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11.91±0.70(Predicted)
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形態(tài):
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liquid
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顏色:
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colorless
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比重:
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0.816
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敏感性:
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moisture sensitive, store cold
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水解敏感性:
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8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
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EPA化學(xué)物質(zhì)信息:
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Silanediamine, N,N'-bis(1,1-dimethylethyl)- (186598-40-3)
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雙（叔丁基氨基）硅烷性質(zhì)、用途與生產(chǎn)工藝
雙（叔丁基氨基）硅烷是（BTBAS）硅烷偶聯(lián)劑的一種，BTBAS是化學(xué)蒸氣液體化學(xué)的前軀體，可沉積均勻的氮化硅，可用于制備氮化硅薄膜，半導(dǎo)體器件和淺溝道隔離薄膜。
雙（叔丁基氨基）硅烷
上下游產(chǎn)品信息
上游原料
下游產(chǎn)品
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