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186598-40-3

中文名稱 雙（叔丁基氨基）硅烷
英文名稱 DI(T-BUTYLAMINO)SILANE
CAS 186598-40-3
分子式 C8H22N2Si
分子量 174.36
MOL 文件 186598-40-3.mol
更新日期 2024/02/21 14:24:33
186598-40-3 結(jié)構(gòu)式 186598-40-3 結(jié)構(gòu)式

基本信息

中文別名
雙(叔丁胺)硅烷
雙(叔丁基氨基)硅烷
雙(叔丁基氨基)硅烷,97+%BTBAS
N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺
英文別名
BTBAS: [NH(C4H9)]2SiH2
DI(T-BUTYLAMINO)SILANE
BIS(T-BUTYLAMINO)SILANE
DI-(TERT-BUTYLAMINO)SILANE
Bis(t-butylamino)silane BTBAS
Bis(t-butylaMino)silane, 97+% BTBAS
N,N'-Bis(1,1-dimethylethyl)silanediamine
DI(T-BUTYLAMINO)SILANE ISO 9001：2015 REACH
Silanediamine, N,N'-bis(1,1-dimethylethyl)-
Dl(t-Butylamino)silane bis (tert-butylamino)silane
所屬類別
有機(jī)原料：有機(jī)硅化合物

物理化學(xué)性質(zhì)

沸點(diǎn)167°C
密度0,816 g/cm3
折射率1.4236
閃點(diǎn)30°C
酸度系數(shù)(pKa)11.91±0.70(Predicted)
形態(tài)液體
比重0.816
顏色無色
敏感性moisture sensitive, store cold
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents

常見問題列表

用途
雙（叔丁基氨基）硅烷是（BTBAS）硅烷偶聯(lián)劑的一種，BTBAS是化學(xué)蒸氣液體化學(xué)的前軀體，可沉積均勻的氮化硅，可用于制備氮化硅薄膜，半導(dǎo)體器件和淺溝道隔離薄膜。
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