六甲基二硅胺烷
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分 子 式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分 子 量 161.39
性 狀 無色透明液體、無毒、略帶胺味
別 名 雙（三甲基硅）胺烷
密度(25℃)g/cm3：0.770—0.780 折光率()：1.408±0.002
六甲基二硅氮烷含量(%)：≥99.0 六甲基二硅氧烷含量(%)：≤0.7
三甲基硅醇含量%：≤ 0.3 閃點(diǎn)：27℃
沸點(diǎn)：126℃ 色度：≤10
用 途：特種有機(jī)合成。阿米卡星、盤尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等合成過程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導(dǎo)體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。
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