國產(chǎn)高純六氟化鉬CAS#:7783-77-9 規(guī)模生產(chǎn)定制 半導體支撐材料
六氟化鉬(MoF6),相對分子量為209.93,熔點為17.5℃,沸點為35℃,低溫下為白色塊狀結晶,對濕空氣敏感。在強氧化劑存在下,六氟化鉬能侵蝕許多金屬(金、鉑除外),使金屬表面變?yōu)樗{色。六氟化鉬可用于鉬的同位素分離,在電子工業(yè)中用作化學氣相淀積硅化鉬或鉬,以制作低電阻、高熔點的互連線和柵極。
產(chǎn)品指標
項目Items
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單位Units
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指標Indexs
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六氟化鉬Molybdenum hexafluoride≥
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Vol.%
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99.9
|
99.999
|
99.9995
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四氟化碳Carbon tetrafluoride(CF4)≤
|
Vol.ppm
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10
|
0.5
|
0.5
|
氮氣Nitrogen(N2)≤
|
Vol.ppm
|
50
|
1
|
0.5
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(氧+氬)Oxygen+ Argon.(O2+Ar)≤
|
Vol.ppm
|
50
|
0.5
|
0.5
|
二氧化碳Carbon dioxide(CO2)≤
|
Vol.ppm
|
-
|
0.5
|
0.5
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一氧化碳Carbon monoxide(CO)≤
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Vol.ppm
|
-
|
0.5
|
0.5
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六氟化硫Sulfur hexafluoride(SF6)≤
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Vol.ppm
|
10
|
0.5
|
0.5
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四氟化硅Silicon tetrafluoride(SiF4)≤
|
Vol.ppm
|
10
|
0.5
|
0.5
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氟化氫Hydrogen fluoride(HF)≤
|
Vol.ppm
|
800
|
1
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1
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項目Items
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單位Units
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指標Index
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鉬Molybdenum(Mo)≤
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μg/L
|
10
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鐵Iron(Fe)≤
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μg/L
|
5
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鉀Kalium(K)≤
|
μg/L
|
5
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鈉Sodium(Na)≤
|
μg/L
|
5
|
鉻Chromium(Cr)≤
|
μg/L
|
5
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釷Thorium(Th)≤
|
μg/L
|
0.1
|
鈾Uranium(U)≤
|
μg/L
|
0.05
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鈷Cobalt(Co)≤
|
μg/L
|
5
|
錳Manganese(Mn)≤
|
μg/L
|
5
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鉛Plumbum(Pb)≤
|
μg/L
|
5
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鋅Zinc(Zn)≤
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μg/L
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5
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鈣Calcium(Ca)≤
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μg/L
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5
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鎂Magnesium(Mg)≤
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μg/L
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5
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鎳Nickel(Ni)≤
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μg/L
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10
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產(chǎn)品用途
六氟化鉬的主要應用領域是在微電子工業(yè)中用化學氣相沉積硅化鉬或鉬,以制作低電阻、高熔點的互連線,也可用作強氟化劑、成膜材料及離子摻雜劑,還可用于鉬同位素分離。
包裝、貯藏
六氟化鉬充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為8L和47L,具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。六氟化鉬儲存干陰涼、干燥、通風良好的庫房中,遠離火種、熱源。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。
山東重山光電材料股份有限公司是重山集團旗下一家集研發(fā)、中試、產(chǎn)業(yè)化于一體的高新技術企業(yè)。是中國化學與物理電源行業(yè)協(xié)會會員單位及鋰電池分會理事單位。公司建有建有氟化石墨烯規(guī)?;痉渡a(chǎn)線及功能氟碳材料性能評價實驗室,能夠大批量生產(chǎn)供應高品質氟碳材料(氟化石墨烯、氟化石墨等)。完善的上游高端原材料規(guī)?;a(chǎn)線,為公司在鋰氟化碳一次電池(BR電池)及其關鍵電池材料、熱電池及其關鍵材料、含氟生物醫(yī)藥材料、半導體支撐材料、穩(wěn)定同位素材料、功能晶體材料、特種有機氟材料等多種高新技術產(chǎn)品的生產(chǎn)提供了充足的原材料供應。
公司成立于2015年,坐落于山東省淄博市淄川區(qū)南韓工業(yè)園內(nèi),項目投資15億元,占地 200 畝。公司擁有由教授、研究員、高級工程師、工程師、博士后、博士、碩士及本科畢業(yè)生為主的近百人研發(fā)團隊,平均年齡不到35歲。與多家大學、實驗室建立研究合作關系。2018年公司順利通過了“國家高新技術企業(yè)”認定。2020年,公司“年產(chǎn)多系列鋰氟化碳電池1億只”項目被列為山東省重大建設項目,成為國內(nèi)一家可批量生產(chǎn)鋰氟化碳電池、氟碳材料的廠家。
公司主營業(yè)務有:特種功能氟碳材料、新能源電池及材料、半導體制成材料、含氟醫(yī)藥生物材料、穩(wěn)定同位素材料、特種有機氟材料等。
關鍵字: 高純六氟化鉬;半導體支撐材料;國產(chǎn)六氟化鉬;MoF6鉬;鉬同位素分離;
山東重山光電材料股份有限公司是重山集團旗下一家集研發(fā)、中試、產(chǎn)業(yè)化于一體的高新技術企業(yè)。公司坐落于山東省淄博市淄川區(qū)南韓工業(yè)園,成立于2015年,注冊資本金3000萬元,占地300畝,總投資12.7億元。中國化學與物理電源行業(yè)協(xié)會會員單位及鋰電池分會理事單位。
2016年 通過ISO9001質量體系認證
2018年 通過國家高新技術企業(yè)認定
2019年 被認定為“山東省高性能氟化碳材料工程實驗室”
2019年 獲批山東省首批化工重點監(jiān)控點企業(yè),享有省級化工園區(qū)同等待遇
2020年 公司“年產(chǎn)1億只系列高比能鋰氟化碳電池生產(chǎn)線建設項目”被列為山東
省重大建設項目。