二氟化氙(XeF2),又稱二氟代氙,分子量為169.30,是一種無色固體,在室溫下容易升華而形成透明晶體。二氟化氙在中性或堿性溶液中分解,在酸性溶液中較為穩(wěn)定,水溶液有刺激氣味。二氟化氙蒸汽是無色的,具有令人發(fā)嘔的惡臭。在電子工業(yè)中,XeF2常被用作硅的蝕刻氣體,由于XeF2和硅的化學反應是自發(fā)反應,XeF2對硅的腐蝕工藝具有非常高的選擇性,在XeF2對硅進行腐蝕過程中,XeF2氣體通過自由擴散到硅襯底表面,并與最外層硅原子發(fā)生化學反應生成氣態(tài)Xe和氣態(tài)SiF4,從而實現(xiàn)對硅的腐蝕。
山東重山光電材料股份有限公司是一家集研發(fā)、中試、產業(yè)化為一體的高新技術企業(yè),建有完整的氟化石墨烯規(guī)?;痉渡a線及功能氟碳材料性能評價實驗室,能夠大批量生產供應高品質氟碳材料(氟化石墨烯、氟化石墨等)。完善的上游高端原材料規(guī)?;a線,為公司在鋰氟化碳一次電池(BR電池)及其關鍵電池材料、熱電池及其關鍵材料、含氟生物醫(yī)藥材料、半導體支撐材料、穩(wěn)定同位素材料、功能晶體材料、特種有機氟材料等多種高新技術產品的生產提供了充足的原材料供應。
公司成立于2015年,坐落于山東省淄博市淄川區(qū)南韓工業(yè)園內,項目投資 15億元,占地 200 畝。2018年公司順利通過了“國家高新技術企業(yè)”認定。公司投資配置了5000平方米的研發(fā)、中試基地,可同時開展功氟碳材料,高比能鋰電池正、負極材料,含氟醫(yī)藥生物材料,半導體材料等相關研制與生產,與多家大學、試驗研究所建立研究合作關系 ,材料性能超越進口產品。
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