廠家供應(yīng) 99.9%高純度四氟化鍺7783-58-6 半導(dǎo)體材料
四氟化鍺(GeF4)是一種鍺的氟化物,分子量為148.63,無(wú)色、辛辣大蒜氣味氣體,空氣中遇水產(chǎn)生大量白煙。常態(tài)下四氟化鍺性質(zhì)穩(wěn)定,在水中發(fā)生水解,生成GeO2和H2GeF6。四氟化鍺在半導(dǎo)體行業(yè)中用于摻雜和離子注入。四氟化鍺結(jié)合乙硅烷氣體,可以直接在玻璃基底上制造硅鍺微晶。
項(xiàng)目Items
單位Units
指標(biāo)Index
四氟化鍺Germanium tetrafluoride(GeF4)≥
Vol.%
99.99
四氟化碳Carbon tetrafluoride(CF4)≤
Vol.ppm
10
氮?dú)?/span>Nitrogen(N2)≤
氧+氬Oxygen+ Argon(O2+Ar))≤
20
一氧化碳Carbon monoxide(CO)≤
二氧化碳Carbon dioxide(CO2)≤
5
二氧化硫Sulfur dioxide(N2O)≤
氟化氫Hydrogen fluoride(HF)≤
35
鉻Chromium(Cr)≤
μg/L
0.05
鐵Iron(Fe)≤
0.08
錳Manganese(Mn)≤
0.01
產(chǎn)品用途:
四氟化鍺在半導(dǎo)體行業(yè)中用于摻雜和離子注入。四氟化鍺結(jié)合乙硅烷氣體,可以直接在玻璃基底上制造硅鍺微晶。四氟化鍺在化學(xué)工業(yè)中還可用于合成試劑。
包裝、貯存:
四氟化鍺充裝在鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為2 L、5 L、8 L、10 L等。具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。四氟化鍺儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房,遠(yuǎn)離火種、熱源。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
山東重山光電材料股份有限公司是一家集研發(fā)、中試、產(chǎn)業(yè)化為一體的高新技術(shù)企業(yè),建有完整的氟化石墨烯規(guī)?;痉渡a(chǎn)線及功能氟碳材料性能評(píng)價(jià)實(shí)驗(yàn)室,能夠大批量生產(chǎn)供應(yīng)高品質(zhì)氟碳材料(氟化石墨烯、氟化石墨等)。完善的上游高端原材料規(guī)?;a(chǎn)線,為公司在鋰氟化碳一次電池(BR電池)及其關(guān)鍵電池材料、熱電池及其關(guān)鍵材料、含氟生物醫(yī)藥材料、半導(dǎo)體支撐材料、穩(wěn)定同位素材料、功能晶體材料、特種有機(jī)氟材料等多種高新技術(shù)產(chǎn)品的生產(chǎn)提供了充足的原材料供應(yīng)。
公司成立于2015年,坐落于山東省淄博市淄川區(qū)南韓工業(yè)園內(nèi),項(xiàng)目投資 15億元,占地 200 畝。2018年公司順利通過了“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定。公司建有5000平方米的研發(fā)、中試基地,配置了相關(guān)研發(fā)、中試裝置和先進(jìn)檢測(cè)手段,與多家大學(xué)、研究所建立研究合作項(xiàng)目。
山東重山光電材料股份有限公司
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