光致產(chǎn)酸劑 用于KrF,ArF 光刻膠產(chǎn)
不揮發(fā)成分(%)98.0以上
游離甲醛(%)0.1以下
單量體(%)95.0以下
金屬離子含有量(ppm)
鈉 0.2以下
鐵0.2以下
鈣0.2以下
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