拋光樹脂是由高度純化、轉(zhuǎn)型的H型陽樹脂和OH型陰樹脂混合而成,如果裝填和操作得當,在最初的周期中即可制備出電阻率大于18.0MΩ·cm和TOC小于10ppb的超純水,無需化學再生。
超純水車間
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