常用名 三氯化硼 英文名 Boron trichloride CAS號 10294-34-5 EINECS 233-658-4 分子式 BCl3 分子量 117.170 密 度 1.4±0.1 g/cm3 沸 點 12.5±9.0 °C 熔 點 −107 °C 閃 點 84 °F 性 狀 透明無色液體 用 途 1.用作半導(dǎo)體硅的摻雜源,有機合成催化劑;還可用于高純硼和有機硼化合物的制取 2.可用以制造高純硼、有機合成用催化劑、硅酸鹽分解時的助熔劑、可對鋼鐵進(jìn)行硼化。還可用來制造氮化硼及硼烷化合物。 3.主要用于電子工業(yè)硅半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。
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