BF3·OH2

三氟化硼可用作半導(dǎo)體材料、火箭高能燃料、有機(jī)合成催化劑、硼同位素分離原料、化學(xué)合成原料、金屬合金防氧化劑、環(huán)氧樹(shù)脂固化劑等。高純?nèi)鹂蓱?yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，應(yīng)用在摻雜、離子注入、氧化擴(kuò)散、等離子刻蝕、硅/鍺外延生長(zhǎng)等方面。摻雜是三氟化硼的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一，是常用的硼摻雜產(chǎn)品，可增強(qiáng)硅晶圓電學(xué)性質(zhì)，主要應(yīng)用于P型半導(dǎo)體生產(chǎn)中。我國(guó)三氟化硼研究于20世紀(jì)50年代已經(jīng)開(kāi)始起步，光明化工研究設(shè)計(jì)院是最早研究三氟化硼的機(jī)構(gòu)，主要研究的是高能燃料用三氟化硼。隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，規(guī)模不斷擴(kuò)大，我國(guó)市場(chǎng)對(duì)電子級(jí)高純?nèi)鹦枨蟛粩嗌仙?，高純?nèi)鹕a(chǎn)技術(shù)壁壘高，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量少，產(chǎn)能小，未來(lái)我國(guó)三氟化硼行業(yè)擁有較大發(fā)展空間。