熔點(diǎn):213-214 oC
沸點(diǎn):611.6±28.0 °C(Predicted)
密度:1.19
用途:六苯基環(huán)三硅氮烷可作為氮化硅和碳氮化硅沉積的前體用于半導(dǎo)體工業(yè)中,并作為光刻膠中的添加劑。
中文同義詞:六苯基環(huán)三硅氮烷
英文名稱:1,2,2,3,4,4-hexaphenyl-1,3,5,2,4,6-triazatrisilinane
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