理化性質(zhì)：三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時引起猛烈的爆炸。它的熱穩(wěn)定性比二氯硅烷好，在900℃時分解產(chǎn)生氯化物有毒煙霧(HCl)，還生成Cl2和Si。遇潮氣時發(fā)煙，與水激烈反應:2SiHCl3+3H2O→(HSiO)2O+6HCl；在堿液中分解放出氫氣：SiHCl3+3NaOH+H2O→Si(OH)4+3NaCl+H2；與氧化性物質(zhì)接觸時產(chǎn)生爆炸性反應。與乙炔、烴等碳氫化合物反應產(chǎn)生有機氯硅烷：SiHCl3+CH≡CH→CH2CHSiCl3、SiHCl3+CH2=CH2→CH3CH2SiCl3；在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下，SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態(tài)SiHCl3當容器受到強烈撞擊時會著火?？扇芙庥诒?、醚等。無水狀態(tài)下三氯硅烷對鐵和不銹鋼不腐蝕，但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。