頭孢呋辛酸 中文名稱: 四氟化鈦 中文同義詞: 頭孢呋辛酸;四氟化鈦;氟化鈦(IV);氟化鈦(IV),98%;頭孢呋辛酸(中間體);四氟化鈦,99% 英文名稱: Titanium tetrafluoride CAS號: 7783-63-3 分子式: F4Ti 分子量: 123.86 EINECS號: 232-017-6 熔點 >400°C 沸點 284°C 密度 2.798 g/mL at 25 °C(lit.) 敏感性 Moisture Sensitive Merck 14,9479 化學性質 四氟化鈦為有吸濕性的白色粉末，相對密度2.798，熔點284℃，常壓下284℃即升華。易溶于水并分解，不溶于乙醚。在100℃時與硅氯仿反應生成硅氟仿?？膳c某些胺類及吡啶等形成加合物。 用途 用于成膜材料及離子注人摻雜。在微電子工業(yè)上用于化學氣體沉積，以制作低電阻、高熔點的互連線。