中文名：緩沖氧化物蝕刻劑 (BOE) 10:1

英文名：Buffered oxide etchant (BOE) 10:1

英文別名：Buffered HF, BHF

貨號(hào)：B487576

包裝：1l

產(chǎn)品介紹：

描述

緩沖氧化物蝕刻劑（BOE）是一種用于微細(xì)加工的濕蝕刻劑。它的主要用途是蝕刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）薄膜。它是一種緩沖劑的混合物，例如氟化銨（NH4F）和氫氟酸（HF）。濃縮HF對(duì)二氧化硅的蝕刻速度太快，無(wú)法實(shí)現(xiàn)良好的工藝控制，并且還會(huì)剝離用于光刻圖案化的光刻膠。

備注：勿存放于玻璃器皿。

應(yīng)用

緩沖氧化物蝕刻劑(BOE) 10:1可用于刻蝕微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)用碳化鈦。也可用于旋涂摻雜材料(SOD)的蝕刻，用于開(kāi)發(fā)導(dǎo)體-絕緣體-導(dǎo)體隧穿二極管。它還用于提高熔融石英器件的表面質(zhì)量。

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