片狀氧化鋁（平板狀氧化鋁）拋光粉

片狀氧化鋁又稱平板狀氧化鋁拋光粉，它的用途是晶圓的拋光研磨表面處理。平板狀氧化鋁其實(shí)是一種通過(guò)特殊方法進(jìn)行長(zhǎng)晶的煅燒氧化鋁。其煅燒溫度問(wèn)1200度，制成的氧化鋁呈片狀堆積形態(tài)。通過(guò)破碎和水洗工藝，將片狀氧化鋁粉進(jìn)行分層，制成氧化鋁純度和清潔度更高，顆粒集中度窄、易分散的片狀氧化鋁微粉。不同的煅燒工藝對(duì)片狀氧化鋁的質(zhì)量影響很大，質(zhì)量好的平板狀氧化鋁晶體結(jié)構(gòu)平整，磨削面無(wú)凹凸，顆粒致密度高，硬度高，易分散不會(huì)團(tuán)聚，因此不會(huì)對(duì)硅片和晶圓造成損傷。片狀氧化鋁的晶體厚度為2-3um，顆粒直徑3-50um。

片狀氧化鋁/平板狀氧化鋁的特點(diǎn)：

1.     海旭磨料生產(chǎn)的片狀氧化鋁對(duì)標(biāo)進(jìn)口產(chǎn)品，可以達(dá)到進(jìn)口片狀氧化鋁粉的研磨效果。

2.     晶型平整無(wú)棱角，研磨時(shí)磨粒于工件之間產(chǎn)生平面滑動(dòng)效果，不易產(chǎn)生劃痕。

3.     硬度高，磨削力強(qiáng)。片狀氧化鋁具有類似于剛玉的α-Al2O3晶相，適用與大多數(shù)材料的研磨和拋光。

4.     磁性物含量低，清潔度高，粒徑一致性高。

5.     熔點(diǎn)高，機(jī)械強(qiáng)度高，磨削效率高。

6.     顆粒大小可控，3-50微米均可獲得。

7.     顆粒的平整性使片狀氧化鋁粉體易于分散，適合制成研磨劑或研磨液。

8.     耐腐蝕、化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)、抗氧化性能優(yōu)越，不會(huì)于研磨液中的液體介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。

9.     比表面積大，表面活性和附著力由于電熔剛玉。

10.  片狀氧化鋁易于分散，粉體不易團(tuán)聚在晶圓表面造成堆積，影響拋光平整度。

化學(xué)成分：

物理性能：

生產(chǎn)規(guī)格：

產(chǎn)品包裝：