常用名 N,N-二甲基-1,4-苯二胺 二甲基對苯二胺常用名 四甲基氫氧化銨別 名 四甲基氫氧化銨溶液 | 顯影液TMAH英文名 Tetramethylammonium hydroxideCAS號(hào) 75-59-2 EINECS 200-882-9分子式 C4H13NO 分子量 91.152密 度 0.866 g/mL 沸 點(diǎn) 110 °C熔 點(diǎn) 62-71°C閃 點(diǎn) 80 °F性 狀 無色結(jié)晶溶解性 溶于水和乙醇等用 途 1.在分析方面,四甲基氫氧化銨作為譜試劑2.在有機(jī)硅方面,四甲基氫氧化銨作為二甲基硅油,氨基硅油,苯甲基硅油,有機(jī)硅擴(kuò)散泵油,無溶劑有硅模塑料,有機(jī)硅樹脂,硅橡膠等的催化劑;3.在產(chǎn)品提純方面作為無灰堿用以沉淀許多金屬元素; 4.在有機(jī)硅片生產(chǎn)中常用作計(jì)算機(jī)硅片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。5.在電路板的印刷和顯微鏡片的制造中,可作為集成電路板的清洗劑和半導(dǎo)體微加工技術(shù)中si-sio2界面的各向異性腐蝕劑。6.用作CMP過程清洗劑,IC.vlsi及TFI-LCD正膠顯影劑。
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