甲基氯硅烷是合成有機硅高分子化合物的主要單體。二甲基二氯硅烷用于制硅油、硅橡膠和硅樹脂;一甲基二氯硅烷用于制織物防潮劑及其他有機單體;三甲基一氯硅烷作為硅油的封頭等,甲基三氯硅烷用作硅樹脂等。這些制品廣泛用于防潮電器絕緣材料、層壓制品、涂料、潤滑油、建筑材料等
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