光酸原材料：

化學(xué)放大膠的主要成分是聚合物樹脂、光致酸產(chǎn)生劑(photo acid generator， PAG)以及相應(yīng)的添加劑(additives)和溶劑。光致酸產(chǎn)生劑是一種光敏感的化合物，在光照下分解產(chǎn)生酸(H+)。在曝光后烘烤(PEB)過程中，這些酸會作為催化劑使得聚合物上懸掛的酸不穩(wěn)定基團脫落，并產(chǎn)生新的酸。懸掛基團的脫落改變了聚合物的極性，有足夠多的懸掛基團脫落后，光刻膠就能溶于顯影液。圖 1是光致酸產(chǎn)生劑在光子作用下產(chǎn)生酸;在 PEB 過程中，酸導(dǎo)致懸掛基團脫落，并生成一個新的酸分子(見圖 1(b))。 tBOC 懸掛基團脫落后，聚合物樹脂 PBOCST 就變成了親水的PHOST 。