儲(chǔ)存條件2-8°C
溶解度在PGMEA中的溶解度為1%
形態(tài)粉末晶體
顏色白色至淺黃色至淺橙色
概述N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸酯(HNT)是一種光酸發(fā)生器(PAG),在紫外線照射下形成酸,可用于生成圖案結(jié)構(gòu)。它還可以通過(guò)形成酸鍵來(lái)調(diào)節(jié)聚合物的溶解度。
用途N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸酯可以用來(lái)形成有圖案的納米顆粒,在半導(dǎo)體器件的體積制造中找到潛在的應(yīng)用。它還可用于沸石的光響應(yīng)性孔重開(kāi),有利于氣體滲透過(guò)程的調(diào)節(jié)。紫外輻照三甲基硅基超薄纖維素基薄膜可以在HNT存在下形成PAG。
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