三氟乙酰氟具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工,為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能;同時(shí)三氟乙酰氟環(huán)境友好,GWP < 1,大氣壽命6.9天,溫室效應(yīng)很低,是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一。
隨著全球氣候變化問(wèn)題日益凸顯,越來(lái)越多的國(guó)家提出了無(wú)碳未來(lái)的愿景。2023年,歐盟委員會(huì)和歐盟議會(huì)達(dá)成協(xié)議,到2050年,HFCs(氫氟烴)的消費(fèi)將逐步被完全淘汰。根據(jù)歐盟委員會(huì)分配的生產(chǎn)權(quán),HFCs的生產(chǎn)將在2036年之前逐步降至最低,達(dá)到15%。針對(duì)小型家用和熱泵設(shè)備方面,從2027年開(kāi)始,歐盟將開(kāi)始全面禁止使用GWP值大于150的HFCs的小型(<12 kW)單體式熱泵設(shè)備和空調(diào),并在2032年實(shí)現(xiàn)完全淘汰。另外,根據(jù)今年美國(guó)環(huán)保署(EPA)的最新提案,從2025年開(kāi)始,所有常見(jiàn)的較高GWP值的HFCs制冷劑,包括HFC-134a、HFC-404A、HFC-410A等,在大多數(shù)的空調(diào)中都將被禁用。因此,開(kāi)發(fā)GWP更低、穩(wěn)定、安全的制冷劑仍是制冷行業(yè)亟需解決的問(wèn)題。
三氟乙酰氟可與其他組分混合,組成一種低GWP值的制冷劑,使得組合物的GWP≤150,從而滿足碳減排、碳中和的相關(guān)要求。
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