中文名：六氯乙硅烷
英文名：Hexachlorodisilane
中文別名：六氯化二硅 | 1,1,1,2,2,2-六氯二硅烷
英文別名：perchlorodisilane | J-006570 | 9Z754456JM | Q15546028 | Disilicon hexachloride | Hexachlorodisilane, 96% | MFCD00011599 | AKOS015848623 | 1,1,1,2,2,2-Hexachlorodisilane | Si2Cl6 | Disilane, 1,1,1,2,2,2-hexachloro- | Hexachlorodisilane | hexachloro-disilan
純度：>98.0%(T)
貨號(hào)：H157333
包裝：25g、5g、1g
Cas號(hào)：13465-77-5
存儲(chǔ)溫度：-20°C儲(chǔ)存,充氬
產(chǎn)品介紹：
六氯乙硅烷（HCDS）是一種氯硅烷，可用作生產(chǎn)乙硅烷的前體。它是一種用于生產(chǎn)硅膜和氮化硅基膜的脫氧劑
應(yīng)用：
HCDS可用于通過(guò)化學(xué)氣相沉積（CVD）制備二氧化硅氣凝膠，其有望用作封裝劑和絕熱體。它也可用于通過(guò)CVD合成1,1,1,2,2,2-六氨基乙硅烷，其可形成微電子應(yīng)用的硅基薄膜。
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關(guān)鍵字： 六氯化二硅 ; 1,1,1,2,2,2-六氯二硅烷;perchlorodisilane ; J-006570
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