中文名:氟化鉭(V)
英文名:Tantalum(V) fluoride
英文別名:Tantalum pentafluoride|Tantalum(V) fluoride|7783-71-3|pentafluorotantalum|Tantalum fluoride (TaF5)|MFCD00042542|EINECS 232-022-3|UNII-QAG1W735WO|Tantalum(V)fluoride|TaF5|Tantalum(V) fluoride, 98%|Tantalum(V) fluoride, 99.9% (metals basis)|Q2615425
純度:99.5% (metals basis)
貨號(hào):T283512
包裝:25g、5g、1g
Cas號(hào):7783-71-3
存儲(chǔ)溫度:充氬
產(chǎn)品介紹:
產(chǎn)品介紹
五氟化鉭(TaF5),常溫下是一種白色結(jié)晶,折光能力強(qiáng)。五氟化鉭微溶于熱的二硫化碳和四氯化碳溶液中,溶于水和乙醚、氫氟酸、硝酸、發(fā)煙硝酸,在空氣中吸濕而不水解。高純五氟化鉭在微電子工業(yè)中用作化學(xué)氣相淀積硅化鉭或鉭膜,制作低電阻、高熔點(diǎn)的電路互連線和柵極。五氟化鉭在電子元器件表面、半導(dǎo)體器件表面、鈦及金屬氮化物電極表面、金屬鎢表面上,可形成附著力極強(qiáng)、厚度為0.1μm級(jí)的絕緣薄膜,具有高的介電率。
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